A07_2013 EMIL Depositionscluster E52419897

Helmholtz-Zentrum-Berlin für Materialien und Energie GmbH

Das HZB plant den Aufbau des „Energy Materials In-situ Laboratory Berlin“ (EMIL) an der Synchrotron-Lichtquelle BESSY II. Ein Teil des EMIL-Labors wird sich mit der Präparation und Analyse von Silizium-basierten Halbleiterstrukturen für die Photovoltaik-Forschung beschäftigen, und dafür ein integriertes Präparations- und Röntgen-Analysesystem beheimaten, welches aus folgenden Komponenten besteht:

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-08-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-06-18.

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2013-06-18 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2013-06-18)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften
Menge oder Umfang:
Das HZB plant den Aufbau des „Energy Materials In-situ Laboratory Berlin“ (EMIL) an der Synchrotron-Lichtquelle BESSY II. Ein Teil des EMIL-Labors wird sich mit der Präparation und Analyse von Silizium-basierten Halbleiterstrukturen für die Photovoltaik-Forschung beschäftigen, und dafür ein integriertes Präparations- und Röntgen-Analysesystem beheimaten, welches aus folgenden Komponenten besteht:1) eine mit der Röntgen-Beamline verbundene Analyse-Kammer, die typische röntgenanalytische Methoden beheimatet (XPS, XES, XAS, etc).2) Ein Ultrahochvakuum (UHV)-Transfersystem, welches die Analyse-Kammer mit diversen UHV-Präparationskammern, einer Rastersonden-Mikroskopie, sowie dem Depositionscluster verbindet.3) Ein Hochvakuum-basierter Depositionscluster, in dem die zu untersuchenden Proben hergestellt werden.Der Depositionscluster (Punkt 3) ist Gegenstand dieser Ausschreibung. Er soll die Möglichkeit schaffen, Einzelschichten, Schichtstapel sowie komplette Dünnschichtsolarzellen unterschiedlicher Konfiguration auf Glas- und Silizium-Substraten von bis zu 6“ Durchmesser (rund) bzw. 100 × 100 mm2 zu prozessieren. Kleinere Proben sollen mit Hilfe von Substratträgern zu prozessieren sein. Das Gesamtsystem soll aus einer zentralen Handlerkammer bestehen, der die verschiedenen Prozesskammern bedient, und über eine spezielle Transferkammer den Anschluß an das UHV-Transfersystem und damit die Röntgen-Analytik herstellt.Die Minimalkonfiguration des Depositionsclusters besteht aus folgenden Systemen:— Oktagon-Zentralhandler mit Handlerroboter,— Transferkammer zum UHV-Teil der Anlage (Analytik),— Ein-/Ausgabe-Kammer („Load-lock“),— Eine Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)-Kammer,— Eine Atomic Layer Deposition (ALD)-Kammer,— Eine Magnetron-Sputter-Kammer.Optional können zudem angeboten werden:— eine weitere PECVD-Kammer (identisch zur ersten PECVD-Kammer),— eine Elektronenstrahl-Verdampfungskamme.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Unbestimmt
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum-Berlin für Materialien und Energie GmbH
Postanschrift: Hahn-Meitner-Platz 1
Postleitzahl: 14109
Postort: Berlin
Kontakt
Telefon: +49 30806212652 📞
Fax: +49 30806212925 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-06-18 📅
Einreichungsfrist: 2013-08-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-06-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 118-201091
ABl. S-Ausgabe: 118

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Das HZB plant den Aufbau des „Energy Materials In-situ Laboratory Berlin“ (EMIL) an der Synchrotron-Lichtquelle BESSY II. Ein Teil des EMIL-Labors wird sich mit der Präparation und Analyse von Silizium-basierten Halbleiterstrukturen für die Photovoltaik-Forschung beschäftigen, und dafür ein integriertes Präparations- und Röntgen-Analysesystem beheimaten, welches aus folgenden Komponenten besteht:
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1) eine mit der Röntgen-Beamline verbundene Analyse-Kammer, die typische röntgenanalytische Methoden beheimatet (XPS, XES, XAS, etc.).
2) Ein Ultrahochvakuum (UHV)-Transfersystem, welches die Analyse-Kammer mit diversen UHV-Präparationskammern, einer Rastersonden-Mikroskopie, sowie dem Depositionscluster verbindet.
3) Ein Hochvakuum-basierter Depositionscluster, in dem die zu untersuchenden Proben hergestellt werden.
Der Depositionscluster (Punkt 3) ist Gegenstand dieser Ausschreibung. Er soll die Möglichkeit schaffen, Einzelschichten, Schichtstapel sowie komplette Dünnschichtsolarzellen unterschiedlicher Konfiguration auf Glas- und Silizium-Substraten von bis zu 6“ Durchmesser (rund) bzw. 100 × 100 mm
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Die Minimalkonfiguration des Depositionsclusters besteht aus folgenden Systemen:
— Oktagon-Zentralhandler mit Handlerroboter,
— Transferkammer zum UHV-Teil der Anlage (Analytik),
— Ein-/Ausgabe-Kammer („Load-lock“),
— Eine Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)-Kammer,
— Eine Atomic Layer Deposition (ALD)-Kammer,
— Eine Magnetron-Sputter-Kammer.
Optional können zudem angeboten werden:
— eine weitere PECVD-Kammer (identisch zur ersten PECVD-Kammer),
— eine Elektronenstrahl-Verdampfungskamme.
Ausschreibung Nr. 07/2013 EMIL Depositionscluster E52419897
Diese Ausschreibung wird über das elektronische Vergabeinformations-System subreport ELViS abgewickelt. Das Angebot und alle
weiteren Unterlagen sind in elektronischer Form auf diesem Portal abzugeben.
Der Auftraggeber fordert die Abgabe elektronischer Angebote. Bitte registrieren Sie sich dafür kostenlos unter https://www.subreport.de/
subreport unterstützt Sie bei der Beschaffung der dafür nötigen digitalen Signatur. Erste Informationen erhalten Sie unter:
subreport Verlag Schawe GmbH
Buchforststr. 1-15, 51101 Köln
Tel.: +49 2219857823, Fax: +49 2219857866
Es werden Varianten akzeptiert ✅
Menge oder Umfang:
Das HZB plant den Aufbau des „Energy Materials In-situ Laboratory Berlin“ (EMIL) an der Synchrotron-Lichtquelle BESSY II. Ein Teil des EMIL-Labors wird sich mit der Präparation und Analyse von Silizium-basierten Halbleiterstrukturen für die Photovoltaik-Forschung beschäftigen, und dafür ein integriertes Präparations- und Röntgen-Analysesystem beheimaten, welches aus folgenden Komponenten besteht:
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1) eine mit der Röntgen-Beamline verbundene Analyse-Kammer, die typische röntgenanalytische Methoden beheimatet (XPS, XES, XAS, etc).
2) Ein Ultrahochvakuum (UHV)-Transfersystem, welches die Analyse-Kammer mit diversen UHV-Präparationskammern, einer Rastersonden-Mikroskopie, sowie dem Depositionscluster verbindet.
3) Ein Hochvakuum-basierter Depositionscluster, in dem die zu untersuchenden Proben hergestellt werden.
Der Depositionscluster (Punkt 3) ist Gegenstand dieser Ausschreibung. Er soll die Möglichkeit schaffen, Einzelschichten, Schichtstapel sowie komplette Dünnschichtsolarzellen unterschiedlicher Konfiguration auf Glas- und Silizium-Substraten von bis zu 6“ Durchmesser (rund) bzw. 100 × 100 mm
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Die Minimalkonfiguration des Depositionsclusters besteht aus folgenden Systemen:
— Oktagon-Zentralhandler mit Handlerroboter,
— Transferkammer zum UHV-Teil der Anlage (Analytik),
— Ein-/Ausgabe-Kammer („Load-lock“),
— Eine Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)-Kammer,
— Eine Atomic Layer Deposition (ALD)-Kammer,
— Eine Magnetron-Sputter-Kammer.
Optional können zudem angeboten werden:
— eine weitere PECVD-Kammer (identisch zur ersten PECVD-Kammer),
— eine Elektronenstrahl-Verdampfungskamme.
Beschreibung der Optionen: Siehe Spezifikation.
Referenznummer: A07_2013 / E52419897
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Berlin.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
— Kurze Unternehmenspräsentation.
— Unterschriebene Eigenerklärung.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
— Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie den Umsatz bezüglich der besonderen Leistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, bezogen auf die letzten 2 Geschäftsjahre.
Mindeststandards: Mindestbedingung: Jahres-Umsatz > 3 x Auftragsvolumen.
Technische und berufliche Fähigkeiten: Referenzen.
Mindeststandards:
— Nachweis von mindestens 3 Referenzsystemen in Deutschland (realisiert in den letzten 5 Jahren), bei denen mindestens 3 Depositions-Kammern über ein automatisches Handlingsystem verknüpft wurden.
Nachweis von jeweils mindestens einer Referenzkammer für PECVD und Sputter-Deposition auf 6“ Fläche (realisiert in den letzten 5 Jahren). Fehlen von Referenzen für ALD und/oder Elektronenstrahl-Verdampfung wird toleriert, wenn 1 (oder 2) Unterauftragnehmer vorgewiesen wird/werden, der in dieser/n Technologie(n) entsprechende Referenzen besitzt.
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Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien: Keine.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
— 50 % nach Auftragsbestätigung und Zahlungsaufforderung gegen Vorlage einer selbstschuldnerischen und unbefristeten sowie für das HZB kostenfreien Bankbürgschaft eines deutschen Geldinstituts,
— 40% nach Lieferung,
— 10% nach Endabnahme durch das HZB.
Nach End-Abnahme der Anlage erhalten Sie die Bankbürgschaften zurück.
Die Zahlung erfolgt innerhalb von 30 Tagen netto nach Zahlungsaufforderung
Sonstige besondere Bedingungen:
Ausführungszeitraum: Oktober 2014, jedoch nicht vor Fertigstellung des Laborraums.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 10
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Technische Qualität (60)
2. Preis (30)
3. Lieferzeit (5)
4. Energieeffizienz (5)
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: AEM Fr. Grotjahn
URL der Teilnahme: http://www.subreport.de/E52419897 🌏
URL der Dokumente: http://www.subreport.de/E52419897 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: A07_2013 / E52419897

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemombler Str. 76
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Wie: Körper überprüfen
Quelle: OJS 2013/S 118-201091 (2013-06-18)
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