A102_2013 Atomic Layer Deposition Anlage (ALD)
Das HZB betreibt 2 wissenschaftliche Großgeräte und betreibt physikalische Grundlagenforschung. Als eines von 18 Zentren der Helmholtz-Gemeinschaft beschäftigt das HZB rund 1 100 Mitarbeiter – davon zirka 800 in Berlin-Wannsee und 300 in Berlin-Adlershof – und verfügt über einen Gesamthaushalt von zirka 110 Millionen EUR.
Beschafft werden soll eine voll funktionsfähige plasmaunterstützte ALD-Anlage mit mindestens 6 Precursorplätze für die Deposition von Metalloxidschichten für Photoelektroden und Katalysatoren für Wasserspaltung.
Der Aufbau muss folgende Eigenschaften aufweisen:
— Geeignet zur Beschichtung von Substraten einer Größe von bis zu 8 Inch Wafer und 10 x 10 cm² Glassubstraten mit einer Dicke von bis zu 8 mm,
— Mindestens 6 Precursor-Quellen und mindestens 2 Plasmagasleitung,
— Möglichkeit zur ALD von ternäre und quaternären Oxidschichten, e. g. BiVO4,
— Prozess-Rezepte für die Herstellung von Al2O3, TiO2, MnOx, und CoOx Schichten,
— Homogene Beschichtungen bei hohen Aspektverhältnissen,
— Möglichkeit der thermischen und/oder plasmagestützen Abscheidung ohne das Vakuum der Prozesskammer zu brechen,
— Anbindung eines UHV-Transfersystem am Loadlock,
— Anbindung von verschiedenen In-situ-Untersuchungsmethoden.
Bitte laden Sie alle Unterlagen, inkl. Anlagen und der geforderten Erklärungen und Nachweise, elektronisch bei herunter.
Link:
http://www.subreport.de/E23397347
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Subreport unterstützt Sie, sofern bei Ihnen noch nicht vorhanden, gerne bei der Beschaffung der dafür nötigen
digitalen Signatur. Bitte beachten Sie Lieferfristen bis zur Bereitstellung der digitalen Signatur: Mindestfrist für eine fortgeschrittene Signatur ca. 7 Arbeitstage.
Wir bitten um Rückgabe der ausgefüllten und verbindlich unterschriebenen Teilnahmeanträge sowie aller geforderten Erklärungen und Nachweise bis zum 16.12.2013, 12.00 Uhr.
Hinweis:
Das Vergabeverfahren erfolgt in mehreren Phasen, um die Zahl der Bieter im Laufe der Verhandlung(en) schrittweise zu verringern.
1. Phase: Teilnahmewettbewerb:
— Aufforderung zur Bewerbung,
— Prüfung und Wertung der Teilnahmeanträge.
2. Phase: Angebotsphase:
— Aufforderung zur Abgabe eines indikativen Angebotes an ausgewählte Bewerber,
— Prüfung und Wertung der Angebote auf ihre:
— — Erfüllung formaler und inhaltlicher Anforderungen,
— — Angemessenheit der Preise,
— — Wirtschaftlichkeit,
— Ggf. Nachforderung von Nachweisen, Erklärungen,
— Mitteilung an abgelehnte Bewerber (gem. GWB § 101a),
— Klärung von Bieterfragen inkl. Antworten.
3. Phase: Verhandlungen:
— Inhaltliche Gespräche,
— Mitteilung über Inhalt überarbeiteter Angebote.
4. Phase: Zuschlagserteilung:
— Abgabe des finalen, verbesserten Angebots,
— Prüfung und Auswertung,
— Erteilung des Zuschlags.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-12-16.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-11-05.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2013-11-05
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Auftragsbekanntmachung
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