Gerät zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf Halbleitersubstraten mittels elektrochemischer Abscheidung

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Das zu konzipierende Gerät dient im konkreten Fall zur Herstellung von
metallischen Mikrostrukturen auf einem zuvor fotostrukturierten
Halbleitersubstrat. Dem Verfahren liegt die am Fraunhofer-IZM entwickelte
und etablierte Dünnfilmtechnologie zugrunde, von der hier fünf Prozesse in
der nachstehenden Ablauffolge relevant sind:
- die Benetzung des belackten Substrates mit DI-Wasser,
- die Konditionierung der Substratmetallisierung in Mikroätzlösungen,
- die galvanische Abscheidung der Metallstrukturen,
- das Spülen der montierten Substrate mit DI-Wasser und
- das Trocknen des galvanisch beschichteten Substrates mit Stickstoff.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-05-27. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-04-11.

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Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2013-04-11 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2013-04-11)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang:
“2 Stück”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-04-11 📅
Einreichungsfrist: 2013-05-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-04-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 073-121945
ABl. S-Ausgabe: 73
Zusätzliche Informationen

“Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A §22 EG)”
Quelle: OJS 2013/S 073-121945 (2013-04-11)
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Produkte/Dienstleistungen: Industrielle Maschinen Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke