Gerät zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf Halbleitersubstraten mittels elektrochemischer Abscheidung

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Das zu konzipierende Gerät dient im konkreten Fall zur Herstellung von
metallischen Mikrostrukturen auf einem zuvor fotostrukturierten
Halbleitersubstrat. Dem Verfahren liegt die am Fraunhofer-IZM entwickelte
und etablierte Dünnfilmtechnologie zugrunde, von der hier fünf Prozesse in
der nachstehenden Ablauffolge relevant sind:
- die Benetzung des belackten Substrates mit DI-Wasser,
- die Konditionierung der Substratmetallisierung in Mikroätzlösungen,
- die galvanische Abscheidung der Metallstrukturen,
- das Spülen der montierten Substrate mit DI-Wasser und
- das Trocknen des galvanisch beschichteten Substrates mit Stickstoff.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-05-27. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-04-11.

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2013-04-11 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2013-04-11)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang: 2 Stück
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-04-11 📅
Einreichungsfrist: 2013-05-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-04-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 073-121945
ABl. S-Ausgabe: 73
Zusätzliche Informationen
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A §22 EG) Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Das zu konzipierende Gerät dient im konkreten Fall zur Herstellung von
metallischen Mikrostrukturen auf einem zuvor fotostrukturierten
Halbleitersubstrat. Dem Verfahren liegt die am Fraunhofer-IZM entwickelte
und etablierte Dünnfilmtechnologie zugrunde, von der hier fünf Prozesse in
der nachstehenden Ablauffolge relevant sind:
- die Benetzung des belackten Substrates mit DI-Wasser,
- die Konditionierung der Substratmetallisierung in Mikroätzlösungen,
- die galvanische Abscheidung der Metallstrukturen,
- das Spülen der montierten Substrate mit DI-Wasser und
- das Trocknen des galvanisch beschichteten Substrates mit Stickstoff.
Es werden Varianten akzeptiert ✅
Dauer: 4 Monate
Referenznummer: BM: 859/243091/cl-ScD
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Berlin

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: - Firmenprofil
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
- Umsatz des letzten und des zu erwartenden Geschäftsjahres
- Eigenerklärung über das ordnungsgemäße. Abführen von Steuern und Abgaben sowie der
Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung
- Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder
mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet
- Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die
Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen.
Technische und berufliche Fähigkeiten: - Komplette Referenzen von vergleichbaren Projekten, nicht älter als drei Jahre
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll:
Falls zutreffend für Bietergemeinschaften: Gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigten Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:
Die unter III.2 geforderten Unterlagen müssen spätestens bis zum unter IV.3.4 genannten Termin vollständig vorgelegt werden.
Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss führen.. Ein evt. Einsatz von Subunternehmern ist spätestens mit Abgabe des Angebotes bekanntzugeben. Die unter III.2 geforderten Unterlagen sind auch von dem/den Subunternehmer/n beizubringen. Ferner ist vom Unterauftragnehmer rechtsverbindlich zu bestätigen, dass er im Auftragsfall uneingeschränkt zur Verfügung steht.
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Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2013-07-16 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2013-05-28 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Name: Fraunhofer Gesellschaft über Vergabeportal Deutsche eVergabe
Postanschrift: Wilhelmstr. 20-22
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65185
URL für weitere Informationen: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: BM: 859/243091/cl-ScD
Zusätzliche Informationen
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A §22 EG)
Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs.3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag dem. § 101 a GWB informiert.
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Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2013/S 073-121945 (2013-04-11)
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