Kauf einer Ätzanlage

NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen

Kauf einer Ätzanlage zur Oberflächenätzung und Stukturierung für Mikrostrukturen, die in der Sensorik und Implantologie eingesetzt werden kann.
Folgende Eigenschaften werden erwartet:
— Parallelplattenreaktor zum Ätzen,
— Reaktives Ionen Ätzen,
— RIE/PE-Umschaltung (Umpolung der Elektroden),
— Durchmesser der Elektrode (Substratteller) >= 450 mm,
— Elektrode beheizbar und kühlbar im Temperaturbereich von -10 °C… + 80 °C.
— Folgende Ätzprozesse müssen möglich sein:
SiN, SiO, SiON, Si, SiC, Polyimid bis 10 µm Dicke, Ti, Au, Pt, PZT,PEEK
— Gleichmäßiges Ätzen über den gesamten nutzbaren Elektrodenbereich (Abweichungen < + - 5 %),
— Optische Schichtdickenkontrolle/Endpunktkontrolle der Prozesse,
— Quarz- Platte zum Schutz der Elektrode vor Abtrag,
— 5 MFC, d. h. 5 Prozessgase unabhängig regelbar (mindestens 5),
— Leistung mindestens 550 W (RF-Generator),
— Pumpsystem mit Turbo-Pumpe, 500 l/s mit Magnetlager und automatischer Druckregelung,
— PC-Steuerung der Anlage wird vorausgesetzt,
— Ersatzteile min.10 Jahre lieferbar.
Nach Prüfung Ihrer Teilnahmeanträge werden Sie von uns schriftlich zur Abgabe eines Angebots aufgefordert. Mit dieser Aufforderung erhalten Sie auch detaillierte Vergabeunterlagen zur Erstellung Ihres Angebots.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-01-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-12-17.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Oxford Instruments GmbH

Wer?

• • NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen

Wie?

• • Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• • Tübingen › Reutlingen