Kauf einer Ätzanlage

NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen

Kauf einer Ätzanlage zur Oberflächenätzung und Stukturierung für Mikrostrukturen, die in der Sensorik und Implantologie eingesetzt werden kann.
Folgende Eigenschaften werden erwartet:
— Parallelplattenreaktor zum Ätzen,
— Reaktives Ionen Ätzen,
— RIE/PE-Umschaltung (Umpolung der Elektroden),
— Durchmesser der Elektrode (Substratteller) >= 450 mm,
— Elektrode beheizbar und kühlbar im Temperaturbereich von -10 °C… + 80 °C.
— Folgende Ätzprozesse müssen möglich sein:
SiN, SiO, SiON, Si, SiC, Polyimid bis 10 µm Dicke, Ti, Au, Pt, PZT,PEEK
— Gleichmäßiges Ätzen über den gesamten nutzbaren Elektrodenbereich (Abweichungen < + - 5 %),
— Optische Schichtdickenkontrolle/Endpunktkontrolle der Prozesse,
— Quarz- Platte zum Schutz der Elektrode vor Abtrag,
— 5 MFC, d. h. 5 Prozessgase unabhängig regelbar (mindestens 5),
— Leistung mindestens 550 W (RF-Generator),
— Pumpsystem mit Turbo-Pumpe, 500 l/s mit Magnetlager und automatischer Druckregelung,
— PC-Steuerung der Anlage wird vorausgesetzt,
— Ersatzteile min.10 Jahre lieferbar.
Nach Prüfung Ihrer Teilnahmeanträge werden Sie von uns schriftlich zur Abgabe eines Angebots aufgefordert. Mit dieser Aufforderung erhalten Sie auch detaillierte Vergabeunterlagen zur Erstellung Ihres Angebots.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-01-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-12-17.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments GmbH

Wer?

• NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Tübingen › Reutlingen

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2013-12-17	Auftragsbekanntmachung
2014-05-15	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2013-12-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen
Postanschrift: Markwiesenstraße 55
Postleitzahl: 72770
Postort: Reutlingen
Kontakt
Internetadresse: http://www.nmi.de 🌏
E-Mail: christine.schmitt@nmi.de 📧
: thomas.schweikert@nmi.de 📧
Telefon: +49 71215153038 📞
Fax: +49 71215153016 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-12-17 📅
Einreichungsfrist: 2014-01-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-12-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 246-428503
ABl. S-Ausgabe: 246
Quelle: OJS 2013/S 246-428503 (2013-12-17)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-05-15)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-05-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-05-17 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 095-166178
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 246-428503
ABl. S-Ausgabe: 95
Quelle: OJS 2014/S 095-166178 (2014-05-15)

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