Kauf einer Ätzanlage

NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen

Kauf einer Ätzanlage zur Oberflächenätzung und Stukturierung für Mikrostrukturen, die in der Sensorik und Implantologie eingesetzt werden kann.
Folgende Eigenschaften werden erwartet:
— Parallelplattenreaktor zum Ätzen,
— Reaktives Ionen Ätzen,
— RIE/PE-Umschaltung (Umpolung der Elektroden),
— Durchmesser der Elektrode (Substratteller) >= 450 mm,
— Elektrode beheizbar und kühlbar im Temperaturbereich von -10 °C… + 80 °C.
— Folgende Ätzprozesse müssen möglich sein:
SiN, SiO, SiON, Si, SiC, Polyimid bis 10 µm Dicke, Ti, Au, Pt, PZT,PEEK
— Gleichmäßiges Ätzen über den gesamten nutzbaren Elektrodenbereich (Abweichungen < + - 5 %),
— Optische Schichtdickenkontrolle/Endpunktkontrolle der Prozesse,
— Quarz- Platte zum Schutz der Elektrode vor Abtrag,
— 5 MFC, d. h. 5 Prozessgase unabhängig regelbar (mindestens 5),
— Leistung mindestens 550 W (RF-Generator),
— Pumpsystem mit Turbo-Pumpe, 500 l/s mit Magnetlager und automatischer Druckregelung,
— PC-Steuerung der Anlage wird vorausgesetzt,
— Ersatzteile min.10 Jahre lieferbar.
Nach Prüfung Ihrer Teilnahmeanträge werden Sie von uns schriftlich zur Abgabe eines Angebots aufgefordert. Mit dieser Aufforderung erhalten Sie auch detaillierte Vergabeunterlagen zur Erstellung Ihres Angebots.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-01-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-12-17.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments GmbH

Wer?

• NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Tübingen › Reutlingen

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2013-12-17	Auftragsbekanntmachung
2014-05-15	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2013-12-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen
Postanschrift: Markwiesenstraße 55
Postleitzahl: 72770
Postort: Reutlingen
Kontakt
Internetadresse: http://www.nmi.de 🌏
E-Mail: christine.schmitt@nmi.de 📧
: thomas.schweikert@nmi.de 📧
Telefon: +49 71215153038 📞
Fax: +49 71215153016 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-12-17 📅
Einreichungsfrist: 2014-01-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-12-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 246-428503
ABl. S-Ausgabe: 246

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Kauf einer Ätzanlage zur Oberflächenätzung und Stukturierung für Mikrostrukturen, die in der Sensorik und Implantologie eingesetzt werden kann.

Folgende Eigenschaften werden erwartet:

— Parallelplattenreaktor zum Ätzen,

— Reaktives Ionen Ätzen,

— RIE/PE-Umschaltung (Umpolung der Elektroden),

— Durchmesser der Elektrode (Substratteller) >= 450 mm,

— Elektrode beheizbar und kühlbar im Temperaturbereich von -10 °C… + 80 °C.

— Folgende Ätzprozesse müssen möglich sein:

SiN, SiO, SiON, Si, SiC, Polyimid bis 10 µm Dicke, Ti, Au, Pt, PZT,PEEK

— Gleichmäßiges Ätzen über den gesamten nutzbaren Elektrodenbereich (Abweichungen < + - 5 %),

— Optische Schichtdickenkontrolle/Endpunktkontrolle der Prozesse,

— Quarz- Platte zum Schutz der Elektrode vor Abtrag,

— 5 MFC, d. h. 5 Prozessgase unabhängig regelbar (mindestens 5),

— Leistung mindestens 550 W (RF-Generator),

— Pumpsystem mit Turbo-Pumpe, 500 l/s mit Magnetlager und automatischer Druckregelung,

— PC-Steuerung der Anlage wird vorausgesetzt,

— Ersatzteile min.10 Jahre lieferbar.

Nach Prüfung Ihrer Teilnahmeanträge werden Sie von uns schriftlich zur Abgabe eines Angebots aufgefordert. Mit dieser Aufforderung erhalten Sie auch detaillierte Vergabeunterlagen zur Erstellung Ihres Angebots.

Referenznummer: INV 13 103
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EFRE 2007-2013
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Markwiesenstraße 55,

72770 Reutlingen,

Deutschland.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Vgl. § 7 Abs. 8 VOL/A-EG.

Aktueller Auszug aus dem Handelsregister oder Bundeszentralregister oder gleichwertiger Urkunde des Landes.

Eigenerklärung des Auftragnehmers, dass:

— weder ein Insolvenz- oder vergleichbares Verfahren beantragt, eröffnet oder mangels Masse abgelehnt wurde,

— noch in Liquidation befindlich,

— noch mit Verpflichtungen von Steuern und Abgaben oder Beiträgen zur Sozialversicherung im Rückstand ist.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: Vgl. § 6 Abs. 6a VOL/A-EG
Mindeststandards: Erklärung über den Gesamtumsatz (ohne Umsatzsteuer) der letzten 3 Jahre.
Technische und berufliche Fähigkeiten: Vgl. § 7 Abs. 3 VOL/A-EG.
Mindeststandards:

Nachweis der technischen Leistungsfähigkeit durch Beschreibung der technischen Ausrüstung, der Maßnahmen zur Sicherung der Qualität und der Forschungsmöglichkeit des Unternehmens (wünschenswert: Applikationslabor zum Test vergleichbarer Geräte). Referenzen von wesentlichen, in den letzten 3 Jahren erbrachten vergleichbaren Geräteverkäufen (wir behalten uns vor, die Referenzen ggf. zu prüfen).

Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien: Vgl. § 18 VOL/B.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Vgl. § 17 VOL/B.

Evtl. erforderliche Anzahlungen gegen unbefristete Bankgarantie eines Kreditinstituts mit erstem Sitz in Deutschland.

Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 1
Höchstzahl der Bewerber: 4
Objektive Auswahlkriterien: Leistungsfähigkeit gemäß Teilnahmebedingungen.
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2014-01-27 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Christine Schmitt/Thomas Schweikert

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: INV 13 103

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg (Regierungspräsidium Karlsruhe)
Postanschrift: Karl-Friedrich-Str. 17
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76133
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: poststelle@rpk.bwl.de 📧
Telefon: +49 7219260 📞
Internetadresse: http://www.rp-karlsruhe.de 🌏
Fax: +49 7219263985 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: Siehe § 107 Abs. 3 Nr. 1-4 i.V.m. § 101a Abs. 1 und § 114 Abs. 2 GWB.
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen
Postanschrift: Markwiesenstraße 55
Postort: Reutlingen
Postleitzahl: 72770
Telefon: +49 712151530885 📞
Internetadresse: http://www.nmi.de 🌏
Fax: +49 71215153016 📠
Quelle: OJS 2013/S 246-428503 (2013-12-17)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-05-15)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-05-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-05-17 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 095-166178
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 246-428503
ABl. S-Ausgabe: 95

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: INV 13103
Geschätzter Wert ohne MwSt: 157 280 💰
197 000 💰

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Nachweis der Eignung für o. g. Prozesse (20)
2. Uniformität der Ätzprozesse (10)
3. Support bei der Entwicklung neuer Prozesse, Hotline und Kontakt zu Prozessingenieuren, schneller Service am NMI (20)
4. Flexibilität der Anlage ( z. B. späteres Nachrüsten weiterer Gase ) (10)
5. Lieferpreis (20)
6. Stabile Prozesskontrolle (15)
7. Bewertung weiterer Anlagenbestandteile (5)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2014-04-22 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Otto-von-Guericke-Ring 10
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65035
Land: Deutschland 🇩🇪
Internetadresse: www.oxford-instruments.com 🌏

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Christine Schmitt, Thomas Schweikert
Quelle: OJS 2014/S 095-166178 (2014-05-15)

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