Komplettsystem zum reaktiven Plasmaätzen (RIE-Anlage)

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Komplettsystem zum reaktiven Plasmaätzen (RIE-Anlage) incl. Option 1-4.
Weitere Informationen zu der Ausschreibung finden Sie: auf der e-Vergabe-Datenbank des Bundes (www.evergabe-online.de) oder der Internetseite der PTB (http://www.ptb.de/de/dienstleistungen/_ausschreibungen.htm).

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-03-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-02-11.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2013-02-11 Auftragsbekanntmachung
2013-05-07 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2013-02-11)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
Name des öffentlichen Auftraggebers: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Postanschrift: Abbestraße 2-12
Postleitzahl: 10587
Postort: Berlin
Kontakt
Internetadresse: http://www.ptb.de 🌏
E-Mail: petra.hauser@ptb.de 📧
Telefon: +49 3034817453 📞
Fax: +49 3034817244 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-02-11 📅
Einreichungsfrist: 2013-03-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-02-15 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 033-051984
ABl. S-Ausgabe: 33

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Komplettsystem zum reaktiven Plasmaätzen (RIE-Anlage) incl. Option 1-4.
Weitere Informationen zu der Ausschreibung finden Sie: auf der e-Vergabe-Datenbank des Bundes (www.evergabe-online.de) oder der Internetseite der PTB (http://www.ptb.de/de/dienstleistungen/_ausschreibungen.htm).
Beschreibung der Optionen:
Option 1: 1 Stück Laser-basierte Ätzraten- und Endpunktdetektion
Option 2: 1 Stück Ersatz- / Verschleißteil-Kit, incl. liner
Option 3: Zusatzkomponenten zur Bereitstellung von Anschlussbedingungen, die über die in 1.3 beschriebenen Anschlussbedingungen hinausgehen
Option 4: Erweiterte Anlagen- und Prozessschulung ggf. im Applikationslabor des Anlagenherstellers.
Dauer: 6 Monate
Referenznummer: Z.1531-1013021101
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Berlin.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Eigenerklärung, die in den Vergabeunterlagen enthalten ist bzw. Präqualifizierungszertifikat (siehe https://www.pq-vol.de/info/start1.aspx).
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Erklärung zur fachlichen und technischen Leistungsfähigkeit, die in den Vergabeunterlagen enthalten ist bzw. Präqualifizierungszertifikat (siehe https://www.pq-vol.de/info/start1.aspx).
Prozessbeschreibung der Ätzprozesse bzw. Dokumentation der Ergebnisse der Testätzung (s. Punkt 2.1. der Leistungsbeschreibung).
Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien: Kautionen keine, Sicherheiten s. Punkt III.1.2.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
90 % nach Lieferung, gegen Rechnung, 30 Tage netto
10 % nach Inbetriebnahme und Abnahme spätestens 6 Wochen nach Lieferung gegen, Rechnung, netto sofort
Kürzere Zahlungsziele können gegen Skontogewährung eingeräumt werden.
Sofern im Rahmen eines abzuschließenden Vertrages Vorleistungen erforderlich sind, werden diese nur gegen Vorlage einer unbefristeten, selbstschuldnerischen Bankbürgschaft gezahlt. Weiterhin sind diese Vorleistungen mit dem dann gültigen Prozentsatz, auf den Tag der einwandfreien Lieferung bzw. falls eine Abnahme vereinbart wurde, auf den Abnahmetag bezogen, abzuzinsen, es sei denn, dies wird bei der Preiskalkulation durch einen entsprechenden Preisnachlass berücksichtigt. Im Angebot ist zu vermerken, wenn ein Preisnachlass berücksichtigt wurde, ansonsten erfolgt eine Abzinsung. Die Verrechnung erfolgt dann mit der Schlusszahlung.
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Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Keine Vorgaben.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2013-05-06 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffungsstelle
Petra Hauser
Internetadresse: www.ptb.de 🌏
Name: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Postanschrift: Abbestr. 2-12
Kontaktperson: 7.21
Dr. Jörn Beyer
Telefon: +49 3034817379 📞
E-Mail: joern.beyer@ptb.de 📧
Fax: +49 3034817490 📠
URL der Dokumente: http://www.ptb.de/de/dienstleistungen/_ausschreibungen.htm oder www.evergabe-online.de 🌏
Postort: 10587
Postleitzahl: Berlin
Kontaktperson: Angebotssammelstelle

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: Z.1531-1013021101

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie
Postanschrift: Villemombler Str. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53227
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2013/S 033-051984 (2013-02-11)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2013-05-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 392 577,82 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-05-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-05-08 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 089-150704
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 33-051984
ABl. S-Ausgabe: 89

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (30)
2. Erzielung von Strukturbreiten von >=1000 nm und einstellbaren Kantenwinkeln im Bereich von 45° - 90° an Al-Dünnfilmen mit Schichtdicken <500 nm (20)
3. Homogenität der Ätzraten an Al und Pd auf 3“ Substraten von <=5% (20)
4. Anlagenautomatisierung (20)
5. Elektrische Leistungsaufnahme (10)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2013-04-30 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Otto-von-Guericke-Ring 10
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2013/S 089-150704 (2013-05-07)
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