Mask Aligner

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Mask Aligner
Ausgeschrieben wird ein Maskaligner, der eine Breitband UV Lichtquelle verwendet. Die zu handhabende Wafergröße ist 200 mm sowie optional auch kleinere Substratgrößen. Der Aligner wird verwendet zur Strukturierung von Dünnfilmpolymeren und Photolacken auf CMOS Wafern sowie anderen Wafertypen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-08-19. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-07-18.

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Deutschland › Berlin

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2013-07-18	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2013-07-18)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang:
“1 Stück.”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-07-18 📅
Einreichungsfrist: 2013-08-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-07-23 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 141-245230
ABl. S-Ausgabe: 141
Quelle: OJS 2013/S 141-245230 (2013-07-18)

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