Modulare Labor-Beschichtungsanlage für CVD- und ALD-Prozesse
Modulare Labor-Beschichtungsanlage für CVD- und ALD-Prozesse.
Angeschafft werden soll eine Labor-Beschichtungsanlage, die sowohl im ALD- als auch im CVD-Modus arbeiten kann. Die Anlage soll sowohl für Vakuum- als auch für Atmosphärendruckprozesse geeignet sein. Folgende Beschichtungsmodi sollen realisiert werden:
a) konventioneller Batchbetrieb zur Beschichtung von unterschiedlichen Bauteilen und
b) kontinuierliche Beschichtung von Fasermaterialien im Rolle-zu-Rolle-Verfahren.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-10-09.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-09-09.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
| 2013-09-09
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Auftragsbekanntmachung
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