Plasmaätzanlage 785-64/13

Universität Leipzig

Gefordert ist eine reaktivgasbeständige FuE-Plasmaätzanlage zum reaktiven Ionenätzen (RIE) mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle (ICP) mit Direktbeladung (open load) zur Bearbeitung von Substraten unterschiedlicher Größen (Standardgröße 10 x 10 mm² und kleinere Bruchstücke aber auch Substratgrößen bis zu 200 mm rund oder 6"" quadratisch).
Die Anlage muss mit einem per Thermostat aktiv gekühlten Probenhalter ausgestattet sein. Dabei erfolgt die thermische Ankopplung an das Susbtrat per Heliumpolster zwischen Substrat und Elektrode. Eine entsprechende Klemmvorrinchtung für die Substrate ist mitzuliefern.
Die vollautomatische Anlagensteuerung ermöglicht die Erstellung von vollautomatischen Mehrschritt-Bearbeitungsroutinen bestehende aus mehr als 100 Einzelschritten.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-10-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-08-26.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Oxford Instruments GmbH

Wer?

• • Universität Leipzig

Wie?

• • Industrielle Maschinen