Plasmaätzanlage 785-64/13

Universität Leipzig

Gefordert ist eine reaktivgasbeständige FuE-Plasmaätzanlage zum reaktiven Ionenätzen (RIE) mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle (ICP) mit Direktbeladung (open load) zur Bearbeitung von Substraten unterschiedlicher Größen (Standardgröße 10 x 10 mm² und kleinere Bruchstücke aber auch Substratgrößen bis zu 200 mm rund oder 6"" quadratisch).
Die Anlage muss mit einem per Thermostat aktiv gekühlten Probenhalter ausgestattet sein. Dabei erfolgt die thermische Ankopplung an das Susbtrat per Heliumpolster zwischen Substrat und Elektrode. Eine entsprechende Klemmvorrinchtung für die Substrate ist mitzuliefern.
Die vollautomatische Anlagensteuerung ermöglicht die Erstellung von vollautomatischen Mehrschritt-Bearbeitungsroutinen bestehende aus mehr als 100 Einzelschritten.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-10-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-08-26.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments GmbH

Wer?

• Universität Leipzig

Wie?

• Industrielle Maschinen

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2013-08-26	Auftragsbekanntmachung
2014-01-15	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2013-08-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang:
“1 Plasmaätzanlage. Es stehen für die Leistung maximal 238 466,48 EUR inkl. USt (netto 200 392,00 EUR) zur Verfügung. Abgegeben Angebote, welche diese Summe...”
Gesamtwert des Auftrags: 200 392 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Unbestimmt
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Leipzig
Postanschrift: Dezernat Haushalts- und Wirtschaftsangelegenheiten, Sachgebiet Beschaffung
Postleitzahl: 04081
Postort: Leipzig
Kontakt
Internetadresse: http://www.uni-leipzig.de 🌏
E-Mail: thomas.steiner@zv.uni-leipzig.de 📧
Telefon: +49 3419731024 📞
Fax: +49 3419731099 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-08-26 📅
Einreichungsfrist: 2013-10-10 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-08-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 166-288383
ABl. S-Ausgabe: 166
Quelle: OJS 2013/S 166-288383 (2013-08-26)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-01-15)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Unbestimmt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-01-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-01-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 011-014976
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 166-288383
ABl. S-Ausgabe: 11
Quelle: OJS 2014/S 011-014976 (2014-01-15)

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