Plasmaätzanlage 785-64/13

Universität Leipzig

Gefordert ist eine reaktivgasbeständige FuE-Plasmaätzanlage zum reaktiven Ionenätzen (RIE) mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle (ICP) mit Direktbeladung (open load) zur Bearbeitung von Substraten unterschiedlicher Größen (Standardgröße 10 x 10 mm² und kleinere Bruchstücke aber auch Substratgrößen bis zu 200 mm rund oder 6"" quadratisch).
Die Anlage muss mit einem per Thermostat aktiv gekühlten Probenhalter ausgestattet sein. Dabei erfolgt die thermische Ankopplung an das Susbtrat per Heliumpolster zwischen Substrat und Elektrode. Eine entsprechende Klemmvorrinchtung für die Substrate ist mitzuliefern.
Die vollautomatische Anlagensteuerung ermöglicht die Erstellung von vollautomatischen Mehrschritt-Bearbeitungsroutinen bestehende aus mehr als 100 Einzelschritten.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-10-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-08-26.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments GmbH

Wer?

• Universität Leipzig

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Leipzig, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2013-08-26	Auftragsbekanntmachung
2014-01-15	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2013-08-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang:

1 Plasmaätzanlage. Es stehen für die Leistung maximal 238 466,48 EUR inkl. USt (netto 200 392,00 EUR) zur Verfügung. Abgegeben Angebote, welche diese Summe übersteigen, werden ausgeschlossen.200 392

Gesamtwert des Auftrags: 200 392 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Unbestimmt
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Leipzig
Postanschrift: Dezernat Haushalts- und Wirtschaftsangelegenheiten, Sachgebiet Beschaffung
Postleitzahl: 04081
Postort: Leipzig
Kontakt
Internetadresse: http://www.uni-leipzig.de 🌏
E-Mail: thomas.steiner@zv.uni-leipzig.de 📧
Telefon: +49 3419731024 📞
Fax: +49 3419731099 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-08-26 📅
Einreichungsfrist: 2013-10-10 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-08-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 166-288383
ABl. S-Ausgabe: 166

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Die Anlage muss mit einem per Thermostat aktiv gekühlten Probenhalter ausgestattet sein. Dabei erfolgt die thermische Ankopplung an das Susbtrat per Heliumpolster zwischen Substrat und Elektrode. Eine entsprechende Klemmvorrinchtung für die Substrate ist mitzuliefern.

Die vollautomatische Anlagensteuerung ermöglicht die Erstellung von vollautomatischen Mehrschritt-Bearbeitungsroutinen bestehende aus mehr als 100 Einzelschritten.

Menge oder Umfang:

1 Plasmaätzanlage. Es stehen für die Leistung maximal 238 466,48 EUR inkl. USt (netto 200 392,00 EUR) zur Verfügung. Abgegeben Angebote, welche diese Summe übersteigen, werden ausgeschlossen.

Referenznummer: 785-24/13
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Universität Leipzig

Technikum Analytikum, Raum TA324

Linnéstrasse 3

04103 Leipzig

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

a) Nachweis oder Eigenerklärung über die Eintragung in ein Berufs- oder Handelsregister (gern durch Vordruck

des Auftraggebers)

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

b) Eigenerklärung des Bieters, dass er seiner gesetzlichen Verpflichtung zur Zahlung von

Steuern und Abgaben sowie der Zahlung der Beiträge zur Sozialversicherung nachkommt;

c) Eigenerklärung, dass über das Vermögen kein Insolvenz- oder ein vergleichbares gesetzliches

Verfahren eröffnet bzw. die Eröffnung beantragt oder dieser Antrag mangels

Masse abgelehnt worden ist;

d) Eigenerklärung, dass sich sein Unternehmen nicht in Liquidation befindet;

e) Angabe der Gesamtumsatzzahlen des Unternehmens der letzten drei Geschäftsjahre

sowie Angabe der Umsatzzahlen vergleichbarer Leistungen zum Vergabegegenstand der

letzten drei Jahre;

Technische und berufliche Fähigkeiten:

f) Referenzliste von vergleichbaren, in den letzten drei Jahren, erbrachten Leistungen

(Plasmaätzanlage mit gleichem Anforderungsprofil) mit Angabe von Auftraggeber, Leistungsgegenstand, Auftragsvolumen,

Leistungszeit sowie Ansprechpartner beim Auftraggeber mit Telefonnummer;

g) Benennung von Maßnahmen zur Qualitätssicherung

jeweiligen Auftraggebers sowie des jeweiligen Auftragsvolumens/Auftragswertes;

Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien: gemäß Vergabeunterlagen
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: gemäß Vergabeunterlagen
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2013-12-31 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2013-10-11 📅
Öffnungsort: Leipzig
Ort des Eröffnungstermins: Leipzig
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Universität Leizpig, Dezernat Haushalts- und Wirtschaftsangelegenheiten, Sachgebiet Beschaffung
Herrn Steiner

Referenz
Daten
Datum des Beginns: 2013-11-02 📅
Datum des Endes: 2014-03-31 📅
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: 785-24/13

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: 1. Vergabekammer desFreistaates Sachsen bei der Landesdirektion Leipzig
Postanschrift: Braustr. 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Genaue Angabe zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Eine Rüge i. S. v. § 107 Abs. 3 Nr. 1

GWB ist nur unverzüglich, wenn sie spätestens 14 Tage nach Erkennen des vermeintlichen Verstoßes gegen

Vergabevorschriften bei der Vergabestelle eingegangen ist. Wird einer Rüge durch die Vergabestelle nicht

abgeholfen, so hat der Bieter gemäß § 107 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang

der Mitteilung, dass der Rüge nicht abgeholfen wird, die Möglichkeit, bei der unter Ziffer VI.4.1) bezeichneten

Stelle einen Nachprüfungsantrag einzureichen.

Quelle: OJS 2013/S 166-288383 (2013-08-26)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-01-15)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Unbestimmt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-01-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-01-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 011-014976
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 166-288383
ABl. S-Ausgabe: 11

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2013-12-02 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Otto-von-Guericke-Ring 10
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2014/S 011-014976 (2014-01-15)

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