„Semi-automatisches Oberseiten-Nano Imprint Lithography System“ AZ 025021/13

Technische Universität Dresden

Im Rahmen des Offenen Verfahrens soll ein halbautomatisches Oberseiten Nano Imprint Lithographie System beschafft werden, welches für die gemeinsam vom Biotec , B CUBE und CRTD betriebene Technologieplattform zur Mikrostrukturierung im Reinraum genutzt werden soll. Das zu beschaffende Gerät besteht aus einem Photolithographie und Bond Alignment-System und einem Werkzeug für UV-Nanoimprinting und Micro Contact Printing mit weichen Stempeln. Das Gerät muss Wafer mit einem Durchmesser von 1” bis 6” bearbeiten können und muss dabei eine Justiergenauigkeit von weniger als 1 µm aufweisen. Es muss Stempel für UV-NIL und µ-CP (Micro Contact Printing) Prozesse herstellen können. Die Auflösung für Soft UV-NIL muss bis zu 20 nm mit einer Justiergenauigkeit von bis zu 1 µm betragen. Beide Verfahren müssen unter Vakuum und in einer Gasumgebung möglich sein. Die vorhandenen Werkzeuge müssen sowohl für das weiche UV-NIL als auch Micro Contact Printing (µ-CP) für Wafergrössen bis 6” einsetzbar sein. Der Stempel-Masken-Halter muss flexibel für verschiedene Maskengrößen verwendbar sein (quadratische Masken mit Seitenlänge von bis zu 5” (für Folienmasken) als auch runde Stempel mit einem Durchmesser von 1” bis 5”).

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-10-14. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-08-29.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• EV Group E.Thallner GmbH

Wer?

• Technische Universität Dresden

Wie?

• Erkennungs- und Analysegeräte › Spektrometer

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2013-08-29	Auftragsbekanntmachung
2014-02-11	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2013-08-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Erkennungs- und Analysegeräte
Menge oder Umfang:

1 Stück Semi-automatisches Oberseiten-Nano Imprint Lithography System,1 Stück UV-NanoImprint (UV-NIL),Aufbau (Installation),Einweisung und Training des Personals (3 Personen) im Hause des Auftraggebers.253 500

Gesamtwert des Auftrags: 253 500 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Erkennungs- und Analysegeräte 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Dresden
Postanschrift: Helmholtzstraße 10
Postleitzahl: 01069
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-dresden.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-dresden.de 📧
Telefon: +49 35146334223 📞
Fax: +49 35146337102 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-08-29 📅
Einreichungsfrist: 2013-10-14 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-08-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 169-292908
ABl. S-Ausgabe: 169

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Menge oder Umfang:

1 Stück Semi-automatisches Oberseiten-Nano Imprint Lithography System,

1 Stück UV-NanoImprint (UV-NIL),

Aufbau (Installation),

Einweisung und Training des Personals (3 Personen) im Hause des Auftraggebers.

Referenznummer: 025021/13
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Teilbetrag aus Zuwendung EFRE-Programm.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

a) Auszug aus dem Strafregister,

b) eine Erklärung der Stelle, die das Insolvenzregister führt,

oder – in Ermangelung solcher – eine gleichwertige Bescheinigung einer Gerichts- oder Verwaltungsbehörde des Ursprungs- oder Herkunftslandes des Unternehmens, aus der hervorgeht, dass für das Unternehmen nicht einer der genannten Ausschlussgründe gemäß § 6 EG Absatz 6 VOL/A vorliegt. Der Auszug darf zum Zeitpunkt der Angebotsfrist nicht älter als 12 Monate sein. Wird eine solche Bescheinigung in dem zutreffenden Land nicht ausgestellt, so kann sie durch Eidesstattliche Erklärung ersetzt werden. In den Staaten, in denen es einen derartigen Eid nicht gibt, kann dieser durch eine feierliche Erklärung ersetzt werden. Die zuständige Behörde oder der Notar stellen eine Bescheinigung über die Echtheit der eidesstattlichen oder feierlichen Erklärung aus.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

c) Vorlage einer amtlichen Unbedenklichkeitsbescheinigung des zuständigen Finanzamtes bzw. eine Eigenerklärung über die pflichtgemäße Zahlung von Steuern, Abgaben und Beiträgen zur gesetzlichen Sozialversicherung.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

d) Referenzliste der wesentlichen in den letzten 5 Jahren vergleichbar erbrachten (abgeschlossenen) Leistungen mit Angabe des Rechnungswertes, der Leistungszeit, insbesondere der Nachweis von mindestens 3 vergleichbarer Referenzanlagen einschließlich Angabe von auskunftsfähigen Kontaktpersonen mit Kontaktdaten (Telefonnummer).

Mindeststandards: zu d) mindestens 3 vergleichbare Referenzanlagen in den letzten 5 Jahren.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Laut Vergabebedingungen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.

Verfahren
Zahlungsweise für die Unterlagen:

Ausschließlich postalische Zusendung der Vergabeunterlagen (AZ 025021/13); Bestellung per E-Mail, Post oder Fax unter Angabe des Verwendungszweckes (AZ 025021/13) .

Gültigkeitsdauer des Angebots: 2013-11-29 📅
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Qualität der Umsetzung der technischen und inhaltlichen Parameter und Anforderungen des Leistungsverzeichnisses (50)
2. Preis (40)
3. Liefer- und Ausführungsfrist (10)
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Technische Universität Dresden, Dezernat Finanzen und Beschaffung, Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Herrn Beuthner
Internetadresse: www.tu-dresden.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: 025021/13

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Leipzig
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: D-04107
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@ldl.sachsen.de 📧
Telefon: +49 3419771402 📞
Internetadresse: http://www.ldl.sachsen.de 🌏
Fax: +49 3419771049 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Rechtsbehelfe gemäß § 107 GWB:

(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.

(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 7 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.

(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:

1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat,

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Dresden, Dezernat Finanzen und Beschaffung, Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Postanschrift: Helmholtzstraße 10
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01062
Telefon: +49 35146334223 📞
Fax: +49 35146337102 📠
Quelle: OJS 2013/S 169-292908 (2013-08-29)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-02-11)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 253 532 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-02-11 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-02-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 032-051459
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 169-292908
ABl. S-Ausgabe: 32

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2013-11-13 📅
Name: EV Group E.Thallner GmbH
Postanschrift: Hartham 7
Postort: Neuhaus am Inn
Postleitzahl: 94152
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: salessd@evgroup.com 📧
Internetadresse: www.evgroup.com 🌏
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2014/S 032-051459 (2014-02-11)

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