Ultrahochvakuum-Sputteranlage mit konfokaler Depositionsgeometrie

Universität Bielefeld, Dez. F, Abt. F 3

Für die Herstellung von ultradünnen komplexen Legierungsschichten wird eine UHV-Sputteranlage benötigt, die das Co-Sputtern von bis zu vier verschiedenen Materialien in konfokaler Geometrie ermöglicht. Die Sputterquellen müssen sowohl für DC- als auch RF- Betrieb geeignet sein. Das Substrat muss während der Abscheidung auf bis zu 1 000 °C geheizt und kontinuierlich rotiert werden können. Es ist ein Substratshutter vorzusehen. Jede Quelle muss mit eigenem Shutter und eigener Gasversorgung ausgestattet sein.
Die Quellen müssen von außen zu verkippen sein, um verschiedene Abstände zwischen dem Substrat und den Quellen unter Einhaltung einer konfokalen Geometrie realisieren zu können.
Die Quellen sind unterhalb der Probe anzuordnen. Der Wechsel der Sputtertargets muss ohne Ausbau der Quelle möglich sein. Die Prozesssteuerung muss komplett automatisiert sein.
Das System ist mit einer Probenladestation (Loadlock) auszustatten, damit zum Wechsel der Proben die Sputterkammer nicht belüftet werden muss. Der Probentransfer vom Loadlock in die Sputterkammer und zurück kann manuell erfolgen. Alle Komponenten sind so auszulegen, dass die Anlage bis ca. 150 °C ausgeheizt werden kann.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-11-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-09-19.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Bestec GmbH

Wer?

• Universität Bielefeld, Dez. F, Abt. F 3

Wie?

Wo?

• Detmold › Bielefeld, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2013-09-19	Auftragsbekanntmachung
2014-02-11	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2013-09-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Elektrogeräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang:

1 Stck. Ultrahochvakuum-Sputteranlage mit konfokaler Depositionsgeometrie.250 000

Gesamtwert des Auftrags: 250 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Elektrogeräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Bielefeld, Dez. F, Abt. F 3
Postanschrift: Universitätsstraße 25
Postleitzahl: 33615
Postort: Bielefeld
Kontakt
Internetadresse: http://www.uni-bielefeld.de 🌏
E-Mail: stefan.eggert-mines@uni-bielefeld.de 📧
Telefon: +49 5211064093 📞
Fax: +49 5211064079 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-09-19 📅
Einreichungsfrist: 2013-11-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-09-27 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 188-323915
ABl. S-Ausgabe: 188
Zusätzliche Informationen

Unter http://www.evergabe.nrw.de/VMPCenter/ finden Sie weitere Informationen zum Verfahren. Sofern die Vergabestelle dies ermöglicht, können Sie dort Vergabeunterlagen kostenlos anfordern und herunterladen und Nachrichten der Vergabestelle einsehen. Die Vergabestelle kann darüber hinaus die digitale Angebotsabgabe zulassen. Bekanntmachungs-ID: CXPNYMHYDEN

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Die Quellen müssen von außen zu verkippen sein, um verschiedene Abstände zwischen dem Substrat und den Quellen unter Einhaltung einer konfokalen Geometrie realisieren zu können.

Die Quellen sind unterhalb der Probe anzuordnen. Der Wechsel der Sputtertargets muss ohne Ausbau der Quelle möglich sein. Die Prozesssteuerung muss komplett automatisiert sein.

Das System ist mit einer Probenladestation (Loadlock) auszustatten, damit zum Wechsel der Proben die Sputterkammer nicht belüftet werden muss. Der Probentransfer vom Loadlock in die Sputterkammer und zurück kann manuell erfolgen. Alle Komponenten sind so auszulegen, dass die Anlage bis ca. 150 °C ausgeheizt werden kann.

Es werden Varianten akzeptiert ✅
Menge oder Umfang: 1 Stck. Ultrahochvakuum-Sputteranlage mit konfokaler Depositionsgeometrie.
Dauer: 6 Monate
Referenznummer: 065-2013-0018
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Bielefeld.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Erklärung des Bieters darüber, dass:

1. über sein Vermögen weder das Konkurs- noch das Vergleichsverfahren eröffnet oder die Eröffnung beantragtworden ist,

2. er sich nicht in Liquidation befindet,

3. er sich als ausländischer Bieter nicht in Verhältnissen befindet, die nach den Rechtsvorschriften seinesLandes mit den Verfahren zu 1. u. 2. vergleichbar sind,

4. er nicht rechtskräftig aus Gründen bestraft worden ist, die seine berufliche Zuverlässigkeit in Frage stellen. Diese Eigenerklärung liegt den Verdingungsunterlagen bei und ist mit dem Angebot einzureichen.

Mindeststandards:

1. Eigenerklärung zur Zahlung von Steuern und Abgaben sowieder Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung,

2. Nachweis einer Haftpflichtversicherung,

3. Verpflichtungserklärung zur Berücksichtigung sozialer Kriterien gem. Tariftreue- und Vergabegesetz NRW,

4. Verpflichtungserklärung zur Tariftreue gem. Tariftreue- und Vergabegesetz NRW,

5. Verpflichtungserklärung zur Frauenförderung gem. Tariftreue- und Vergabegesetz NRW.

Diese Nachweise liegen den Verdingungsunterlagen bei und sind dem Angebot beizufügen.

Technische und berufliche Fähigkeiten: Gem. Leistungsbeschreibung.
Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien: Gem. Leistungsbeschreibung.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Gem. Leistungsbeschreibung.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll:

Bei Angeboten einer Bietergemeinschaft gilt:

Jedes Mitglied für sich muss alle Zuverlässigkeitskriterienerfüllen.

Alle Mitglieder einer Bietergemeinschaft sind im Angebot aufzuführen.

Alle Mitglieder bestimmen einen bevollmächtigten Vertreter.

Alle Mitglieder haften gesamtschuldnerisch.

Nach Zuschlagserteilung nennt der Auftragnehmer ein Konto, auf das mit schuldbefreiender Wirkung gezahlt werden kann.

Sonstige besondere Bedingungen:

Bewerbungsbedingungen des Landes NRW;

Vertragsbedingungen des Landes NRW;

Besondere Vertragsbedingungen TVgG NRW.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2 Monate
Datum der Angebotseröffnung: 2013-11-12 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Zentrale Beschaffungsabteilung
Herrn Eggert-Mines
Name: Universität Bielefeld
Postanschrift: Universitätsstr. 25
Kontaktperson: Angebotssammelstelle, K3-123
URL der Teilnahme: http://www.uni-bielefeld.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: 065-2013-0018
Zusätzliche Informationen

Bekanntmachungs-ID: CXPNYMHYDEN

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer der Bezirksregierung Detmold
Postanschrift: Leopoldstraße 15
Postort: Detmold
Postleitzahl: 32756
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: poststelle@brdt.nrw.de 📧
Telefon: +49 5231711710 📞
Internetadresse: http://www.bezreg-detmold.nrw.de 🌏
Fax: +49 5231711715 📠
Quelle: OJS 2013/S 188-323915 (2013-09-19)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-02-11)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 243 200 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Bielefeld
Postanschrift: Universitätsstr. 25

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-02-11 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-02-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 031-049978
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 188-323915
ABl. S-Ausgabe: 31

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis in Relation zur Leistung (40)
2. Modularität und Flexibilität der Anlage (10)
3. Zusammenspiel der Komponenten und Bedienerfreundlichkeit (20)
4. Qualitätsnachweis durch Kundenreferenzen (20)
5. Kompatibilität mit Bestandsanlagen bzw. Komponenten (10)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2013-12-02 📅
Name: Bestec GmbH
Postanschrift: Am Studio 2b
Postort: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: info@bestec.de 📧
Internetadresse: http://www.bestec.de 🌏
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 6

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Herrn Stefan Eggert-Mines
Quelle: OJS 2014/S 031-049978 (2014-02-11)

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