Vakuum CVD Anlage

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Zur Bearbeitung von verschiedenen Entwicklungsprojekten soll eine Vakuum CVD zur Abscheidung von Silizium bzw. Silizium-Oxidschichten beschafft werden. Die Schichtabscheidung sollte einerseits mit einer Plasmaanregung (Plasma CVD) and andererseits über das geheizte Substrat (thermische CVD) erfolgen. Ein Anlagenkonzept als sogenannte Batchanlage (ohne Substrateinschleusung) ist ausreichend. Die minimalen Substratabmessungen betragen 200 mm x 300 mm bei einer maximalen Substratdicke bis 10 mm. Die Homogenitätsabweichungen der Schichtabscheidung sollten maximal 4 % der mittleren Schichtdicke betragen (für Plasma und thermische CVD). Folgende Hauptanlagenkomponenten sollten Bestandteil der Ausschreibung sein:
— Prozesskammer mit Substrat Träger,
— Plasmaquelle bzw. Substratheizung,
— Vakuumsystem,
— Gasversorgung,
— Anlagensteuerung.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-05-02. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-03-19.

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Sachsen › Dresden

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2013-03-19	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2013-03-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang:
“1 Stück.”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-03-19 📅
Einreichungsfrist: 2013-05-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-03-22 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 058-095638
ABl. S-Ausgabe: 58
Zusätzliche Informationen

“Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A §22 EG). Die Nutzung der Plattform...”
Quelle: OJS 2013/S 058-095638 (2013-03-19)

Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕

Industrielle Maschinen (>20 neue Beschaffungen)

Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (>20)

Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (15)