Wafer Inspektionssystem

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wafer Inspektions System (WIS) mit automatisiertem Handling und Sortierstation zur Charakterisierung und Klassierung von kristallinen Silizium Wafern für die Solarzellenfertigung im Rahmen der Eingangs- und Prozesskontrolle
Der Messautomat soll kristalline Silizium-Wafer elektrisch und optisch mit verschiedenen Messsystemen charakterisieren und abhängig von den Testergebnissen entsprechend eines frei programmierbaren und parametrisierbaren Klassierschemas, das am ISE entwickelt wird, in insgesamt mindestens 10 Klassen unterteilen. Die Auswertung der Messergebnisse soll auf einem zentralen Auswerte-PC stattfinden, auf dem alle Messergebnisse gesammelt werden. Das Handling erfolgt vollautomatisch, wo¬bei die Wafer (i) am Eingang in einem Carrier oder einer Box bereitgestellt werden und (ii) am Ausgang in eine Box oder einen Carrier einge¬hordet werden.
Durchsatz: min. 1200 Wafer/h
Wafergröße: 125x125mm2, 156x156mm2
Waferdicke: 120 - 300 µm
Maximale Maße: 11m x 1,7m (siehe Stellplatz)
Messgeräte:
WaferID, (Data Matrix Code)
PL-Imaging
IR-Durchlicht (Mikrorisskontrolle)
Widerstand und Dicke (induktiv, kapazitiv))
Lebensdauer
Visionsystem (Schichtdickenmessung AR-Coating, Textur)
Spektrometer (Texturkontrolle, Reflexion)
Freie Bandstrecke zur Nachträglichen Integration von Messgeräten
Zusätzliche oder Alternative Messgeräte können als Option ebenfalls angeboten werden
Zusätzliche Optionen:
Eingabepuffer für Manz-Automatisierungsboxen
Eingabepuffer für PV-TEC Carrier
Ausgabepuffer für PV-TEC Carrier
Entladung und Sortierung in 4 Carrier
Umhordemöglichkeit für Wafer
Software
Anbindung an das MES über PV2-Schnittstelle
Single-wafer tracking und Zuordnung aller Messdaten zu den Wafern
Waferbewertung mittels Auswertung einzelner Messdaten mehrerer Geräte auf einem Zentralrechner
Möglichkeit eigene Algorithmen/Auswertekombinationen auf dem Zentralrechner zu implementieren

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-03-11. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-02-08.

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• • Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• • Baden-Württemberg › Freiburg