Wafer Probing System

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Um automatische Parameter- und Charakterisierungs-Messungen an
optoelektronischen CMOS-Sensoren und -Bauelementen auf Wafer-Ebene
durchzuführen, benötigt Fraunhofer IMS ein neues oder überholtes
Waferprober-System mit LED-Illuminator. Typischerweise sind die zu messenden
Sensoren und Bauelemente („devices under test”, DUTs) lichtempfindliche
Strukturen, Bauelemente oder Pixel, die in Matrizen („Arrays“) oder Zeilen
von unterschiedlicher Größe und/oder Anzahl angeordnet sind.
Auch CMOS-Bildsensoren müssen mit dem Waferprober-System gemessen werden.
Das Waferprober-System muss für Messungen konform zum EMVA Standard 1288
Release 3.1 (release candidate) geeignet sein.
Weiterhin muss das Waferprober-System hochgenaue und rauscharme
Halbleiter-Parameter-Messungen (z. B. DC-, IV- und CV-Messungen) an
CMOS-Bauelementen und -Strukturen (z. B. Transistoren, Dioden, Photodioden) ohne Beleuchtung ermöglichen.
Alle Arten von Messungen müssen bei unterschiedlichen Temperaturen
durchführbar sein, die vom Waferprober-System aus einstellbar und kontrollierbar sein müssen.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-07-15. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-05-29.

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• • Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• • Düsseldorf › Duisburg, Kreisfreie Stadt