Waferprober
Die Anlage soll zur elektrischen Charakterisierung von Wafern verwendet werden. Sie soll die Möglichkeit bieten manuell oder halbautomatisch mit bis zu 8 Einzelnadeln (Manipulatoren) oder halbautomatisch mittels Probecard zu messen. Es sollen Wafer mit den Größen 100 mm, 150 mm, 200 mm und 300 mm vermessen werden, ohne große Umbauten vorzunehmen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-07-01.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-05-16.
Wer?
Wie?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
| 2013-05-16
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Auftragsbekanntmachung
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