Aufdampfanlage
Aufdampfanlage.
Die zu beschaffende Aufdampfanlage soll für den Herstellungsprozess von Polymer-basierten Komponenten eingesetzt werden. Als Aufdampfmaterialien werden im wesentlichen Gold, Titan und Platin eingesetzt andere Metalle sollen möglich sein. Mit der Aufdampfanlage werden Heizelektroden bzw. Ätzmasken aus Metall auf Polymer-Schichten abgeschieden. Die Strukturierung über einen Lift-Off Prozess soll gegeben sein. Die Anlage soll eine Probenaufnahme von ca. 38 cm Durchmesser haben, um einen 8“ Wafer, 3 Stück 6“ Wafer oder 6 Stück 4“ Wafer aufzunehmen. Zwingend erforderlich ist eine Ar-Ionen-Strahlquelle zum Konditionieren der zu beschichtenden Oberflächen. Ebenso eine intelligente vollautomatische Steuerung per PC ist notwendig, welche alle Komponenten ansteuern kann und vollautomatische Prozessabläufe in. Prozessüberwachung, und Speicehrung erlaubt. Die vorhandene Stellfläche ist begrenzt auf 250 cm Breite und 170 cm Tiefe.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-09-29.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-08-14.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2014-08-14
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Auftragsbekanntmachung
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| 2014-11-04
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Ergänzende Angaben
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| 2015-01-14
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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