Beschaffung einer PVD-Beschichtungsanlage
Am Lehrstuhl für Oberflächen- und Werkstofftechnologie (LOT) der Universität Siegen soll eine auf physical vapor deposition (PVD) Prozessen basierende Beschichtungsanlage beschafft werden. Diese Anlage soll sowohl industrienahe Beschichtungsprozesse und deren Entwicklung erlauben als auch im Bereich der Grundlagenforschung einsetzbar sein. Dies stellt hohe Anforderungen an die Flexibilität des zu beschaffenden Systems, welches nach Möglichkeit bereits in der industriellen Produktion etabliert sein sollte. Die abzuscheidenden Schichtsysteme orientieren sich hierbei am breiten Spektrum der am LOT.
bearbeiteten Materialien (Funktionsschichten wie TCOs oder aber piezoelektrische Beschichtungen bis hin zu Hartstoffschichten) und sollten durch die Anlage abgedeckt werden können. Die Anlage selbst sollte neben der Beschichtung planarer Substrate auch die Handhabung größerer, komplexer, dreidimensionaler Bauteile im Rahmen von kleinen Serienbeschichtungen erlauben.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-04-15.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-03-01.
Wer?
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Wo?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
| 2014-03-01
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Auftragsbekanntmachung
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