Glovebox und Maskaligner
Die im Rahmen des Offenen Verfahrens ausgeschriebene „Glovebox mit Maskaligner “ soll am Institut für Angewandte Photophysik der TU Dresden eingesetzt werden.
Das Ziel der Ausschreibung ist die Beschaffung einer Glovebox mit integriertem Belichter zur Lithographie unter Schutzatmosphäre. Die Ausschreibung wurde in zwei Lose aufgeteilt. Los 1 beinhaltet die Glovebox inkl. aller nötigen Anschlüsse für die Integration des Maskaligners aus Los 2. Los 2 beinhaltet den Maskaligner zur Integration und Betrieb in der in Los 1 ausgeschriebenen Glovebox.
Da die Geräte aus beiden Losen sollen zusammen betrieben werden (Maskaligner in die Glovebox intergiert). Daher ist bei der Abgabe eines Angebotes für eines der Lose sicherzustellen, dass die Anforderungen des jeweils anderen Loses hiermit realisierbar sind.
Wesentliche Anforderungen an die Glovebox (Los 1) sind:
— zwei getrennte Kammern
o eine Kammer zur Belackung der Proben
o eine Kammer zur Aufnahme des Belichters, Kammergröße ca. 1250 mm breit, 900 mm hoch, 1200 mm tief
— Spincoater in Belackungskammer integriert;
— Schwingungsdämpfung in Boden der Belichterkammer integriert;
— Lösungsmittelfilter;
— UV-Filter in Kammerscheiben;
— Belichter für Wartungszwecke leicht zugängig (Wartungsöffnung sowie Schnellverschlüsse für Scheibe).
Wesentliche Anforderungen an den Maskaligner (Los 2) sind:
— Maskaligner für 5“ x 5“ Masken,
— sub-µm Ausrichtung von Maske zu Probe;
— Integration in Glovebox mit Kammergröße ca. 1250 mm breit, 900 mm hoch, 1200 mm tief;
— Bedienbarkeit in Glovebox gegeben;
— Justage der sowie Betrieb der Lampe inkl. Kühlung in Glovebox möglich.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-03-07.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-01-20.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2014-01-20
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Auftragsbekanntmachung
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| 2014-07-09
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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