Glovebox und Maskaligner

Technische Universität Dresden

Die im Rahmen des Offenen Verfahrens ausgeschriebene „Glovebox mit Maskaligner “ soll am Institut für Angewandte Photophysik der TU Dresden eingesetzt werden.
Das Ziel der Ausschreibung ist die Beschaffung einer Glovebox mit integriertem Belichter zur Lithographie unter Schutzatmosphäre. Die Ausschreibung wurde in zwei Lose aufgeteilt. Los 1 beinhaltet die Glovebox inkl. aller nötigen Anschlüsse für die Integration des Maskaligners aus Los 2. Los 2 beinhaltet den Maskaligner zur Integration und Betrieb in der in Los 1 ausgeschriebenen Glovebox.
Da die Geräte aus beiden Losen sollen zusammen betrieben werden (Maskaligner in die Glovebox intergiert). Daher ist bei der Abgabe eines Angebotes für eines der Lose sicherzustellen, dass die Anforderungen des jeweils anderen Loses hiermit realisierbar sind.
Wesentliche Anforderungen an die Glovebox (Los 1) sind:
— zwei getrennte Kammern
o eine Kammer zur Belackung der Proben
o eine Kammer zur Aufnahme des Belichters, Kammergröße ca. 1250 mm breit, 900 mm hoch, 1200 mm tief
— Spincoater in Belackungskammer integriert;
— Schwingungsdämpfung in Boden der Belichterkammer integriert;
— Lösungsmittelfilter;
— UV-Filter in Kammerscheiben;
— Belichter für Wartungszwecke leicht zugängig (Wartungsöffnung sowie Schnellverschlüsse für Scheibe).
Wesentliche Anforderungen an den Maskaligner (Los 2) sind:
— Maskaligner für 5“ x 5“ Masken,
— sub-µm Ausrichtung von Maske zu Probe;
— Integration in Glovebox mit Kammergröße ca. 1250 mm breit, 900 mm hoch, 1200 mm tief;
— Bedienbarkeit in Glovebox gegeben;
— Justage der sowie Betrieb der Lampe inkl. Kühlung in Glovebox möglich.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-03-07. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-01-20.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer?

• Technische Universität Dresden

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2014-01-20	Auftragsbekanntmachung
2014-07-09	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2014-01-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Menge oder Umfang: Los 1: 1 Stück Glovebox;Los 2. 1 Stück Maskaligner.216 000
Gesamtwert des Auftrags: 83 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für ein oder mehrere Los(e)
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Dresden
Postanschrift: Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Postleitzahl: 01069
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-dresden.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-dresden.de 📧
Telefon: +49 35146336273 📞
Fax: +49 35146337102 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-01-20 📅
Einreichungsfrist: 2014-03-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-01-22 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 015-022377
ABl. S-Ausgabe: 15
Zusätzliche Informationen

Die genannten Einzelnachweise zur Prüfung der Leistungsfähigkeit, Zuverlässigkeit und Fachkunde gemäß § 7 EG VOL/A sind mit dem Angebot einzureichen. Fehlen diese, sind unvollständig oder veraltet, kann dies zum Ausschluss des Angebotes führen.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Die im Rahmen des Offenen Verfahrens ausgeschriebene „Glovebox mit Maskaligner “ soll am Institut für Angewandte Photophysik der TU Dresden eingesetzt werden.

Das Ziel der Ausschreibung ist die Beschaffung einer Glovebox mit integriertem Belichter zur Lithographie unter Schutzatmosphäre. Die Ausschreibung wurde in zwei Lose aufgeteilt. Los 1 beinhaltet die Glovebox inkl. aller nötigen Anschlüsse für die Integration des Maskaligners aus Los 2. Los 2 beinhaltet den Maskaligner zur Integration und Betrieb in der in Los 1 ausgeschriebenen Glovebox.

Da die Geräte aus beiden Losen sollen zusammen betrieben werden (Maskaligner in die Glovebox intergiert). Daher ist bei der Abgabe eines Angebotes für eines der Lose sicherzustellen, dass die Anforderungen des jeweils anderen Loses hiermit realisierbar sind.

Wesentliche Anforderungen an die Glovebox (Los 1) sind:

— zwei getrennte Kammern

o eine Kammer zur Belackung der Proben

o eine Kammer zur Aufnahme des Belichters, Kammergröße ca. 1250 mm breit, 900 mm hoch, 1200 mm tief

— Spincoater in Belackungskammer integriert;

— Schwingungsdämpfung in Boden der Belichterkammer integriert;

— Lösungsmittelfilter;

— UV-Filter in Kammerscheiben;

— Belichter für Wartungszwecke leicht zugängig (Wartungsöffnung sowie Schnellverschlüsse für Scheibe).

Wesentliche Anforderungen an den Maskaligner (Los 2) sind:

— Maskaligner für 5“ x 5“ Masken,

— sub-µm Ausrichtung von Maske zu Probe;

— Integration in Glovebox mit Kammergröße ca. 1250 mm breit, 900 mm hoch, 1200 mm tief;

— Bedienbarkeit in Glovebox gegeben;

— Justage der sowie Betrieb der Lampe inkl. Kühlung in Glovebox möglich.

Losnummer: 1
Bezeichnung des Loses: Glovebox
Kurze Beschreibung:

Wesentliche Anforderungen an die Glovebox (Los 1) sind:— zwei getrennte Kammerno eine Kammer zur Belackung der Probeno eine Kammer zur Aufnahme des Belichters, Kammergröße ca. 1250 mm breit, 900 mm hoch, 1200 mm tief— Spincoater in Belackungskammer integriert;— Schwingungsdämpfung in Boden der Belichterkammer integriert;— Lösungsmittelfilter;— UV-Filter in Kammerscheiben;— Belichter für Wartungszwecke leicht zugängig (Wartungsöffnung sowie Schnellverschlüsse für Scheibe).

— Belichter für Wartungszwecke leicht zugängig (Wartungsöffnung sowie Schnellverschlüsse für Scheibe).

Menge oder Umfang: 1 Stück Glovebox.
Losnummer: 2
Bezeichnung des Loses: Maskaligner
Kurze Beschreibung:

Wesentliche Anforderungen an den Maskaligner (Los 2) sind:— Maskaligner für 5“ x 5“ Masken,— sub-µm Ausrichtung von Maske zu Probe,— Integration in Glovebox mit Kammergröße ca. 1250 mm breit, 900 mm hoch, 1200 mm tief,— Bedienbarkeit in Glovebox gegeben,— Justage der sowie Betrieb der Lampe inkl. Kühlung in Glovebox möglich.

— sub-µm Ausrichtung von Maske zu Probe,

— Integration in Glovebox mit Kammergröße ca. 1250 mm breit, 900 mm hoch, 1200 mm tief,

— Bedienbarkeit in Glovebox gegeben,

Menge oder Umfang: 1 Stück Maskaligner.

Los 1: 1 Stück Glovebox;

Los 2. 1 Stück Maskaligner.

Dauer: 3 Monate
Referenznummer: 1.2-055001/14
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01069 Dresden.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Nachweis über den Eintrag im Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes der Gemeinschaft oder des Vertragsstaates des EWR-Abkommens.

Auszug aus dem Strafregister sowie eine Erklärung der Stelle, die das Insolvenzregister führt, oder – in Ermangelung solcher – eine gleichwertige Bescheinigung einer Gerichts- oder Verwaltungsbehörde des Ursprungs- oder Herkunftslandes des Unternehmens, aus der hervorgeht, dass für das Unternehmen nicht einer der genannten Ausschlussgründe gemäß § 6 EG Absatz 6 VOL/A vorliegt. Die Nachweise dürfen zum Zeitpunkt der Angebotsfrist nicht älter als zwölf Monate sein. Wird eine solche Bescheinigung in dem zutreffenden Land nicht ausgestellt, so kann sie durch eidesstattliche Erklärung ersetzt werden. In den Staaten, in denen es einen derartigen Eid nicht gibt, kann dieser durch eine feierliche Erklärung ersetzt werden. Die zuständige Behörde oder der Notar stellen eine Bescheinigung über die Echtheit der eidesstattlichen oder feierlichen Erklärung aus.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Vorlage einer amtlichen Unbedenklichkeitsbescheinigung des zuständigen Finanzamtes bzw. eine eigene Erklärung über die pflichtgemäße Zahlung von Steuern, Abgaben und Beiträgen zur gesetzlichen Sozialversicherung (kann durch die Anlage Erklärung ersetzt werden). Vorlage von Bankauskünften. Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie den Umsatz bezüglich der besonderen Leistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, jeweils bezogen auf die letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Referenzliste der wesentlichen in den letzten drei Jahren vergleichbar erbrachten Leistungen mit Angabe des Rechnungswertes, der Leistungszeit und des Ansprechpartners.

Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: lt. Vergabeunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2014-04-18 📅
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Qualität der Umsetzung der technischen und inhaltlichen Parameter und Anforderungen des Leistungsverzeichnisses (50)
2. Preis (40)
3. Liefer- und Ausführungsfrist (10)
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Technische Universität Dresden, Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Frau Kessinger
Internetadresse: www.tu-dresden.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: 1.2-055001/14

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Leipzig
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040 📞
Internetadresse: http://ldl.sachsen.de 🌏
Fax: +49 3419771049 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Rechtsbehelfe gemäß § 107 GWB:

(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.

(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 7 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.

(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit

1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat,

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Dresden, Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01062
Telefon: +49 35146334223 📞
Fax: +49 35146337102 📠
Quelle: OJS 2014/S 015-022377 (2014-01-20)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-07-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 212 650 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-07-09 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-07-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 131-233877
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 15-022377
ABl. S-Ausgabe: 131

Auftragsvergabe

1️⃣
Datum des Vertragsabschlusses: 2014-03-20 📅
Name: M. Braun Inertgas-Systeme GmbH
Postanschrift: Dieselstraße 31
Postort: Garching
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland 🇩🇪

2️⃣
Name: SUSS MicroTec Lithography GmbH
Postanschrift: Schleissheimer Straße 90
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:
Quelle: OJS 2014/S 131-233877 (2014-07-09)

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