Lieferung einer „Modularen Beschichtungsanlage mit PLD- und Sputtermodul“
Kombinationsanlage mit Reinigungs-, PLD- und Sputtermodulen für Forschungszwecke zur Der Anwendungsschwerpunkt der PLD liegt auf Abscheidung von Gläsern, Oxidkeramiken, Metallen und deren Oxide, Beschichtung von planaren und einseitig geschlossenen zylindrischen Substraten. Die Anlage arbeitet als Einkammeranlage im Batchbetrieb und ist für planare Beschichtungsflächen 50 mm x 15 mm und einseitig geschlossene zylindrische Röhren mit bis 12 mm Durchmesser konzipiert.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-08-25.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-07-01.
Wer?
Wie?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
| 2014-07-01
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Auftragsbekanntmachung
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