Lieferung einer Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage für die Laserpulsabscheidung (PLD)
Ausgehend von konzeptionellen Vorarbeiten des Auftraggebers ist eine Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage für die Laserpulsabscheidung (PLD) von dünnen Schichten und Mehrschichtsystemen zu konstruieren und zu bauen. Die Anlage soll die aufeinander folgende Beschichtung von wenigstens 5 ebenen Substraten mit 4 Zoll Durchmesser mit dickenhomogenen, kontaminations- und partikulatfreien Schichtstapeln aus 10 verschiedenen Materialien im Ultrahochvakuum ermöglichen. Sie soll modular aufgebaut sein, das heißt aus einer Beschickungs- und Entnahmekammer und 2 Beschichtungskammern bestehen, wobei der Transport des zu beschichtenden Substrats aus einem Substratmagazin in der Beschickungs- und Entnahmekammer wahlweise in eine der Beschichtungskammern über Schleusen zu realisieren ist. In der Beschichtungskammer 1 werden Target und Substrat parallel zueinander in einem vorgegebenen Abstand angeordnet, wie es für das PLD-Verfahren üblich ist. Die Beschichtungskammer 2 soll aus 2 Teilkammern (Targetkammer und Substratkammer) mit einem dazwischen angeordneten 90° Magnetspulenablenksystem bestehen, so dass dementsprechend Target und Substrat senkrecht zueinander angeordnet sind. Jede Kammer ist mit einem Targetwechsler und einem heiz- und kühlbaren Substrathalter mit Substratbewegungssystem ausgestattet, so dass in beiden Kammern unabhängig von einander ohne Umbauten alternierend beschichtet werden kann. Target (bzw. Targetwechsler) und Substrat müssen sich auf einem computergesteuerten Target- bzw. Substratbewegungssystem angeordnet sein. Darüber hinaus sind Ionenquellen für die Substratreinigung, den Ionenbeschuss aufwachsender Schichten und die Reinhaltung der Einkoppelfenster für die Laserstrahlen sowie ein in-situ Ellipsometer für die Kontrolle des Schichtwachstums und Geräte (Pyrometer und Thermoelemente) für die Substrattemperaturmessung zu implementieren. Außerdem soll die vollautomatische Steuerung des Beschichtungsprozesses möglich sein. Laser und Optiken für die Laser sind nicht Bestandteil der Ausschreibung.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-08-29.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-06-27.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2014-06-27
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Auftragsbekanntmachung
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| 2014-10-27
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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