Lieferung einer Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage für die Laserpulsabscheidung (PLD)

Hochschule Mittweida

Ausgehend von konzeptionellen Vorarbeiten des Auftraggebers ist eine Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage für die Laserpulsabscheidung (PLD) von dünnen Schichten und Mehrschichtsystemen zu konstruieren und zu bauen. Die Anlage soll die aufeinander folgende Beschichtung von wenigstens 5 ebenen Substraten mit 4 Zoll Durchmesser mit dickenhomogenen, kontaminations- und partikulatfreien Schichtstapeln aus 10 verschiedenen Materialien im Ultrahochvakuum ermöglichen. Sie soll modular aufgebaut sein, das heißt aus einer Beschickungs- und Entnahmekammer und 2 Beschichtungskammern bestehen, wobei der Transport des zu beschichtenden Substrats aus einem Substratmagazin in der Beschickungs- und Entnahmekammer wahlweise in eine der Beschichtungskammern über Schleusen zu realisieren ist. In der Beschichtungskammer 1 werden Target und Substrat parallel zueinander in einem vorgegebenen Abstand angeordnet, wie es für das PLD-Verfahren üblich ist. Die Beschichtungskammer 2 soll aus 2 Teilkammern (Targetkammer und Substratkammer) mit einem dazwischen angeordneten 90° Magnetspulenablenksystem bestehen, so dass dementsprechend Target und Substrat senkrecht zueinander angeordnet sind. Jede Kammer ist mit einem Targetwechsler und einem heiz- und kühlbaren Substrathalter mit Substratbewegungssystem ausgestattet, so dass in beiden Kammern unabhängig von einander ohne Umbauten alternierend beschichtet werden kann. Target (bzw. Targetwechsler) und Substrat müssen sich auf einem computergesteuerten Target- bzw. Substratbewegungssystem angeordnet sein. Darüber hinaus sind Ionenquellen für die Substratreinigung, den Ionenbeschuss aufwachsender Schichten und die Reinhaltung der Einkoppelfenster für die Laserstrahlen sowie ein in-situ Ellipsometer für die Kontrolle des Schichtwachstums und Geräte (Pyrometer und Thermoelemente) für die Substrattemperaturmessung zu implementieren. Außerdem soll die vollautomatische Steuerung des Beschichtungsprozesses möglich sein. Laser und Optiken für die Laser sind nicht Bestandteil der Ausschreibung.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-08-29. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-06-27.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2014-06-27 Auftragsbekanntmachung
2014-10-27 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2014-06-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang: 850 000
Gesamtwert des Auftrags: 850 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Hochschule Mittweida
Postanschrift: Technikumplatz 17
Postleitzahl: 09648
Postort: Mittweida
Kontakt
Internetadresse: http://www.hs-mittweida.de 🌏
E-Mail: einkauf@hs-mittweida.de 📧
Telefon: +49 3727581239 📞
Fax: +49 3727581368 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-06-27 📅
Einreichungsfrist: 2014-08-29 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-07-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 124-220650
ABl. S-Ausgabe: 124

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Ausgehend von konzeptionellen Vorarbeiten des Auftraggebers ist eine Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage für die Laserpulsabscheidung (PLD) von dünnen Schichten und Mehrschichtsystemen zu konstruieren und zu bauen. Die Anlage soll die aufeinander folgende Beschichtung von wenigstens 5 ebenen Substraten mit 4 Zoll Durchmesser mit dickenhomogenen, kontaminations- und partikulatfreien Schichtstapeln aus 10 verschiedenen Materialien im Ultrahochvakuum ermöglichen. Sie soll modular aufgebaut sein, das heißt aus einer Beschickungs- und Entnahmekammer und 2 Beschichtungskammern bestehen, wobei der Transport des zu beschichtenden Substrats aus einem Substratmagazin in der Beschickungs- und Entnahmekammer wahlweise in eine der Beschichtungskammern über Schleusen zu realisieren ist. In der Beschichtungskammer 1 werden Target und Substrat parallel zueinander in einem vorgegebenen Abstand angeordnet, wie es für das PLD-Verfahren üblich ist. Die Beschichtungskammer 2 soll aus 2 Teilkammern (Targetkammer und Substratkammer) mit einem dazwischen angeordneten 90° Magnetspulenablenksystem bestehen, so dass dementsprechend Target und Substrat senkrecht zueinander angeordnet sind. Jede Kammer ist mit einem Targetwechsler und einem heiz- und kühlbaren Substrathalter mit Substratbewegungssystem ausgestattet, so dass in beiden Kammern unabhängig von einander ohne Umbauten alternierend beschichtet werden kann. Target (bzw. Targetwechsler) und Substrat müssen sich auf einem computergesteuerten Target- bzw. Substratbewegungssystem angeordnet sein. Darüber hinaus sind Ionenquellen für die Substratreinigung, den Ionenbeschuss aufwachsender Schichten und die Reinhaltung der Einkoppelfenster für die Laserstrahlen sowie ein in-situ Ellipsometer für die Kontrolle des Schichtwachstums und Geräte (Pyrometer und Thermoelemente) für die Substrattemperaturmessung zu implementieren. Außerdem soll die vollautomatische Steuerung des Beschichtungsprozesses möglich sein. Laser und Optiken für die Laser sind nicht Bestandteil der Ausschreibung.
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Dauer: 8 Monate
Referenznummer: EU-AS-01/14
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Mittweida.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Eigenerklärung, dass sich das Unternehmen nicht in Insolvenz oder Liquidation befindet.
Technische und berufliche Fähigkeiten: Referenzliste der letzten 3 Geschäftsjahre über vergleichbare Projekte.
Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien: Bankbürgschaften bei möglichen Anzahlungen.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: VOL/B und Auftragsbedingungen der Hochschule Mittweida.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2014-10-15 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Hochschule Mittweida, Referat Beschaffung
Name: Hochschule Mittweida
Kontaktperson: Fakultät Mathematik/Naturwissenschaften/Informatik
Prof. Dr. rer. nat. Weißmantel
Telefon: +49 3727581449 📞
E-Mail: steffen.weissmantel@hs-mittweida.de 📧
Fax: +49 3727581315 📠
URL für weitere Informationen: http://www.hs-mittweida.de 🌏
URL der Dokumente: http://www.hs-mittweida.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: EU-AS-01/14

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Leipzig
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: wiltrud.kadenbach@lds.sachsen.de 📧
Telefon: +49 3419773800 📞
Internetadresse: http://www.ldl.sachsen.de 🌏
Fax: +49 3419771049 📠
Quelle: OJS 2014/S 124-220650 (2014-06-27)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-10-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 849 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-10-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-10-29 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 208-368378
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 124-220650
ABl. S-Ausgabe: 208

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (40)
2. Qualität (40)
3. Gesamtkonzept (20)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2014-09-26 📅
Name: Creavac Creative Vakuumbeschichtung GmbH
Postanschrift: Löbtauer Straße 65-71
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01159
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2014/S 208-368378 (2014-10-27)
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