Lieferung und Inbetriebnahme eines Vertikalofens zur chemischen Dampfphasenabscheidung von Siliziumdioxidschichten bei Niederdruck (LPCVD-Verfahren). Die Abscheidung erfolgt mittels Tetraethylorthosilicat (TEOS). Ferner, fachgerechter Abbau und Katalogisierung eines vorhandenen Ofensystems
Ein Vertikalofensystem zur Deposition von Siliziumdioxidschichten soll geliefert und im Reinraum der AMO GmbH in Betrieb genommen werden, welcher auf chemischer Dampfphasenabscheidung bei Niederdruckatmosphäre basiert, kurz LPCVD-Verfahren (engl. Low Pressure Chemical Vapor Deposition). Die Schichten müssen in einem TEOS-Prozess (Tetraethylorthosilane) gewachsen werden. Ein Prozess zur Deposition von ca. 1µm dicken Siliziumdioxidschichten soll auf dem System implementiert sein. Die AMO definiert in der Leistungsbeschreibung die Spezifikationen für den Prozess und die deponierten Siliziumdioxidschichten. Darüber hinaus ist der fachgerechte Rückbau eines bestehenden Horizontalofen zu leisten. Die anfallenden Bauteile müssen katalogisiert und bei AMO eingelagert werden.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-09-15.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-07-29.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Auftragsbekanntmachung (2014-07-29) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Teile für Brenner, Brennöfen oder Öfen
Menge oder Umfang:
“410 000”
Gesamtwert des Auftrags: 410 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Teile für Brenner, Brennöfen oder Öfen📦
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: AMO GmbH
Postanschrift: Otto-Blumenthal-Straße 25
Postleitzahl: 52074
Postort: Aachen
Kontakt
Internetadresse: http://www.amo.de🌏
E-Mail: vergabe@amo.de📧
“Bitte beachten Sie, dass Angebote schriftlich in einfacher Ausfertigung nebst Datenträger, auf dem der Angebot vollständig enthalten sein muss (z. B....”
Bitte beachten Sie, dass Angebote schriftlich in einfacher Ausfertigung nebst Datenträger, auf dem der Angebot vollständig enthalten sein muss (z. B. pdf-Format mit Strukturierungsfunktion, zu unterschreibende Seiten dürfen separat eingescannt werden), bei der Kontaktstelle gemäß Ziffer I.1) fristgerecht einzureichen ist. Die Abgabe per E-Mail oder Telefax ist ausgeschlossen.
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Quelle: OJS 2014/S 146-262036 (2014-07-29)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-10-01) Objekt Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge