Optisches Topographiemesssystem

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Optisches Topographiemessgerät zur hochaufgelösten schnellen Analyse mikromechanischer Strukturen
Das zu beschaffende optische Topographiemessgerät soll in der Lage sein Mikrospiegelarrays mit höchster Präzision und Geschwindigkeit zu vermessen. Dabei soll es in 2 Aufgabenbereichen eingesetzt werden. Der Schwerpunkt der ersten Messaufgabe „A“ besteht in der stichprobenartigen Charakterisierung von einzelnen oder wenigen Mikrospiegelaktuatoren mit einer Größe von etwa 4 x 4µm2. Insbesondere sollen hier die Parameter Rauheit, Biegung, Verkippung und Auslenkung (Hub) der einzelnen Mikrospiegel ermittelt werden. Die Unsicherheit bei der Ermittlung dieser Parameter (Höhengengenauigkeit) muss besser als 0,5 nm sein. Dazu scheint eine laterale Auflösung von 0,5µm oder besser erforderlich zu sein. Die zu erwartende Spiegelauslenkung liegt im Bereich von weniger als 100 nm.
Die zweite Messaufgabe 'B' besteht in der Funktionsprüfung aller Mikrospiegel innerhalb einer Fläche von einigen Quadratzentimetern. Dabei soll festgestellt werden, ob die gewünschte Spiegelauslenkung erreicht wird und wie groß die Anzahl und die Position von ggf. defekten Spiegeln ist. Für diese Messung genügt eine Messunsicherheit der Höheninformation von 1,0 nm, lateral ca. 0,7µm. Besonders wichtig ist bei dieser Analyse eine hohe Messgeschwindigkeit und Zuverlässigkeit des Messsystems. Die Messzeit soll dabei nicht mehr als 4h/cm2 betragen.
Für beide Aufgabengebiete ist eine Messung durch ein Schutzglas anzustreben. Für Aufgabe 'B' ist dies zwingend erforderlich. Für die beschriebene Messaufgabe sind Topographiemesssysteme nach einem interferometrischen oder holographischen Prinzip denkbar.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-09-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-07-29.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Bruker AXS SAS

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• • Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• • Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt