Single Wafer Spin Etch System
Single Wafer Spin Etch System „Requirements Spin Etcher“ und „Anlage technische Anforderungen zur Anschaffung von Neugeräten“.
Siehe Anhänge.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-07-29.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-06-16.
Wer?
Wie?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2014-06-16
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Auftragsbekanntmachung
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