Sputter-Tool

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Sputter-Tool:
Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“) Sputter-Tool. In diesem Sputter-Tool werden 8“ (200 mm) Wafer nach den im „Lastenheft“ aufgeführten Spezifikationen prozessiert.
Das System besteht aus mindestens vier Prozess-Kammern (ein Sputter-Target pro Kammer). Diese vier Kammern werden für unsere Standard-Produktion mit den Materialien Ti/TiN, TiW, Cu und AlSi genutzt.
Eine optionale fünfte Kammer wird für R&D-Zwecke mit anderen Targets benutzt, die im „Lastenheft“ beschrieben werden.
Alle Prozess-Kammern werden automatisch durch einen Robot-Handler beladen.
Das System soll vom Hersteller als „stand-alone-tool“ oder „through the wall“ im Reinraum am IMS installiert werden und muss den CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor.
Das System muss einen komplett sicheren Prozess-Ablauf ohne jedes Risiko für die Gesundheit des Bedieners erlauben.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-08-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-07-02.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Teltec GmbH

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Düsseldorf › Duisburg, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2014-07-02	Auftragsbekanntmachung
2014-09-03	Ergänzende Angaben
2015-02-03	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2014-07-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-07-02 📅
Einreichungsfrist: 2014-08-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-07-04 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 126-224142
ABl. S-Ausgabe: 126
Zusätzliche Informationen

Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG). Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Sputter-Tool:

Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“) Sputter-Tool. In diesem Sputter-Tool werden 8“ (200 mm) Wafer nach den im „Lastenheft“ aufgeführten Spezifikationen prozessiert.

Das System besteht aus mindestens vier Prozess-Kammern (ein Sputter-Target pro Kammer). Diese vier Kammern werden für unsere Standard-Produktion mit den Materialien Ti/TiN, TiW, Cu und AlSi genutzt.

Eine optionale fünfte Kammer wird für R&D-Zwecke mit anderen Targets benutzt, die im „Lastenheft“ beschrieben werden.

Alle Prozess-Kammern werden automatisch durch einen Robot-Handler beladen.

Das System soll vom Hersteller als „stand-alone-tool“ oder „through the wall“ im Reinraum am IMS installiert werden und muss den CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor.

Das System muss einen komplett sicheren Prozess-Ablauf ohne jedes Risiko für die Gesundheit des Bedieners erlauben.

Es werden Varianten akzeptiert ✅
Beschreibung der Optionen: Optional isz Zubehör anzubieten.
Dauer: 5 Monate
Referenznummer: BM 038/228335/cl-ort
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Duisburg.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre,

— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Abgaben sowie der Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung,

— Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet,

— Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen.

Technische und berufliche Fähigkeiten: — Komplette Referenzen von vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdinungsunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Selbstschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:

Die unter III.2) geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV 3.4) genannten Termin vollständig einzureichen. Unvollständigkeit kann zum Ausschluß führen.

Bei evtl. Einsatz von Subunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der aufgeführten Eignungskriterien unter III.2 nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Auswahlkriterien: Gemäß Eignungskriterien.
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Fr. Lönz
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Name: Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Wilhelmstraße 20-22
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65185
Telefon: +49 6119491060 📞
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL für weitere Informationen: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: BM 038/228335/cl-ort
Zusätzliche Informationen

Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG).

Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF, Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. §101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2014/S 126-224142 (2014-07-02)

Ergänzende Angaben (2014-09-03)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-09-03 📅
Einreichungsfrist: 2014-09-20 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-09-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 171-302706
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 126-224142
ABl. S-Ausgabe: 171
Quelle: OJS 2014/S 171-302706 (2014-09-03)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2015-02-03)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Postanschrift: Hansastraße 27c
Kontakt
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 8912053229 📞
Fax: +49 8912057547 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-02-03 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-02-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 025-041478
ABl. S-Ausgabe: 25

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (35)
2. Technische Ausführung (Erfüllung der geforderten Hardware-Konfigurationen wie Prozesskammern für die Produktion, Wafer-Handling, Steuerung, usw.; Erfüllung der optional gewünschten Konfigurationen wie die Prozesskammer für R&D und das Handling von TAIKO- und gebondeten Wafern; Umfang der mitgelieferten, technischen Dokumentationen; Qualität und Auswahl der verwendeten Bauteile wie Vakuumpumpen, Generatoren, MFC-s und Messröhren, usw.; Erfüllung der geforderten Test- und Prozesskriterien) (45)
3. Serviceleistungen und Support (Training vor Ort an der Anlage; Umfang des Anlagen-Startups; Mitlieferungen von Start-Prozessen (BKM-s) für die Prozessentwicklung; Mitlieferung von Austausch-Process-Kits und Consumables) (15)
4. Lieferzeit (5)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2015-01-09 📅
Name: Teltec GmbH
Postanschrift: Am Moosbach 6
Postort: Mainhardt
Postleitzahl: 74535
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 7

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Quelle: OJS 2015/S 025-041478 (2015-02-03)

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