Trockenätzanlage vom Typ ICP-RIE (inductive coupled plasma reactive ion etching)

Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V. – Max-Planck-Institut für Festkörperforschung

Gegenstand der vorliegenden Ausschreibung ist die Vergabe einer Einmallieferung einer Trockenätzanlage vom Typ ICP-RIE. Die Ätzanlage wird im zentralen Reinraum des Instituts integriert.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-01-30. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-12-11.

Wer?

• • Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V. – Max-Planck-Institut für Festkörperforschung

Wie?

• • Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) › Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen

Wo?

• • Baden-Württemberg › Stuttgart