Beschaffung eines Schichtabscheidungs-Systems (DFG-GZ: A 715)

Deutsche Forschungsgemeinschaft e. V., Zentrale Beschaffungsstelle

Benötigt wird ein thermischer Verdampfer, der organische sowie anorganische Materialien auf eine Flache von bis zu 4 x 4” mit einer Schichtdickengenauigkeit kleiner gleich 5 % aufdampfen kann. Zusätzlich soll der Verdampfer an eine große Glovebox mit 4-Bedienungsanschlüssen gekoppelt sein. Niedertemperaturquellen für organische Materialien sollen 1cc groß sein und der Quellenkörper soll mittels Steckverbindung, anstatt fest verschraubter Anschlüsse, befestigt werden können um den Austausch der Quellen zu erleichtern. Das Steuern des Verdampfens von organischen Materialien sollte mit einer Genauigkeit von bis zu 0,001 nm/sec möglich sein. 4 metallische und 2 organische Quellen mit jeweils einzelnen Schichtdickenmessgeräten werden benötigt. Das Substrat sollte während des Aufdampfprozesses rotieren können. Die Verdampfungskammer soll aus Edelstahl und einer auswechselbaren inneren Verkleidung bestehen. Durch diese baulichen Maßnahmen sollen einerseits Verunreinigungen und Korrosion vorgebeugt und andererseits eine schnelle und verlässliche Reinigung gewährleistet werden. Außerdem sollte die Tür der Verdampfungskammer ein von innen abdeckbares Sichtfenster haben. Alle benötigten Pumpen sollen mitinbegriffen sein und einen Arbeitsdruck von mindestens 2 x 10-7 mBar in angemessener Zeit erreichen können. Das Verdampfen der Materialien soll auch automatisiert erfolgen können. Die Glovebox soll eine Atmosphäre mit weniger als 1 ppm O2 und H2O haben, um reaktive und wasserempfindliche Materialien zu schützen. Das Frontfester der Glovebox sollte standardmäßig aus Sicherheitsglas bestehen. Desweiteren sollte die Glovebox über eine„Schnellspülung“ verfügen um die in ihr enthaltene Atmosphäre aufrechterhalten zu können. Desweiteren ist eine örtliche Kundenbetreuung und technischer Service wünschenswert.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-12-21. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-11-19.

Wer?

• • Deutsche Forschungsgemeinschaft e. V., Zentrale Beschaffungsstelle

Wie?

• • Industrielle Maschinen

Wo?

• • Karlsruhe › Karlsruhe, Stadtkreis