Beschaffung eines Schichtabscheidungs-Systems (DFG-GZ: A 715)

Deutsche Forschungsgemeinschaft e. V., Zentrale Beschaffungsstelle

Benötigt wird ein thermischer Verdampfer, der organische sowie anorganische Materialien auf eine Flache von bis zu 4 x 4” mit einer Schichtdickengenauigkeit kleiner gleich 5 % aufdampfen kann. Zusätzlich soll der Verdampfer an eine große Glovebox mit 4-Bedienungsanschlüssen gekoppelt sein. Niedertemperaturquellen für organische Materialien sollen 1cc groß sein und der Quellenkörper soll mittels Steckverbindung, anstatt fest verschraubter Anschlüsse, befestigt werden können um den Austausch der Quellen zu erleichtern. Das Steuern des Verdampfens von organischen Materialien sollte mit einer Genauigkeit von bis zu 0,001 nm/sec möglich sein. 4 metallische und 2 organische Quellen mit jeweils einzelnen Schichtdickenmessgeräten werden benötigt. Das Substrat sollte während des Aufdampfprozesses rotieren können. Die Verdampfungskammer soll aus Edelstahl und einer auswechselbaren inneren Verkleidung bestehen. Durch diese baulichen Maßnahmen sollen einerseits Verunreinigungen und Korrosion vorgebeugt und andererseits eine schnelle und verlässliche Reinigung gewährleistet werden. Außerdem sollte die Tür der Verdampfungskammer ein von innen abdeckbares Sichtfenster haben. Alle benötigten Pumpen sollen mitinbegriffen sein und einen Arbeitsdruck von mindestens 2 x 10-7 mBar in angemessener Zeit erreichen können. Das Verdampfen der Materialien soll auch automatisiert erfolgen können. Die Glovebox soll eine Atmosphäre mit weniger als 1 ppm O2 und H2O haben, um reaktive und wasserempfindliche Materialien zu schützen. Das Frontfester der Glovebox sollte standardmäßig aus Sicherheitsglas bestehen. Desweiteren sollte die Glovebox über eine„Schnellspülung“ verfügen um die in ihr enthaltene Atmosphäre aufrechterhalten zu können. Desweiteren ist eine örtliche Kundenbetreuung und technischer Service wünschenswert.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-12-21. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-11-19.

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2015-11-19 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2015-11-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang: 1 System.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Deutsche Forschungsgemeinschaft e. V., Zentrale Beschaffungsstelle
Postanschrift: Kennedyallee 40
Postleitzahl: 53175
Postort: Bonn
Kontakt
Internetadresse: http://www.dfg.de 🌏
E-Mail: boris.licker@dfg.de 📧
Telefon: +49 2288852105 📞
Fax: +49 2288853676 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-11-19 📅
Einreichungsfrist: 2015-12-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-11-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 227-412818
ABl. S-Ausgabe: 227

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Benötigt wird ein thermischer Verdampfer, der organische sowie anorganische Materialien auf eine Flache von bis zu 4 x 4” mit einer Schichtdickengenauigkeit kleiner gleich 5 % aufdampfen kann. Zusätzlich soll der Verdampfer an eine große Glovebox mit 4-Bedienungsanschlüssen gekoppelt sein. Niedertemperaturquellen für organische Materialien sollen 1cc groß sein und der Quellenkörper soll mittels Steckverbindung, anstatt fest verschraubter Anschlüsse, befestigt werden können um den Austausch der Quellen zu erleichtern. Das Steuern des Verdampfens von organischen Materialien sollte mit einer Genauigkeit von bis zu 0,001 nm/sec möglich sein. 4 metallische und 2 organische Quellen mit jeweils einzelnen Schichtdickenmessgeräten werden benötigt. Das Substrat sollte während des Aufdampfprozesses rotieren können. Die Verdampfungskammer soll aus Edelstahl und einer auswechselbaren inneren Verkleidung bestehen. Durch diese baulichen Maßnahmen sollen einerseits Verunreinigungen und Korrosion vorgebeugt und andererseits eine schnelle und verlässliche Reinigung gewährleistet werden. Außerdem sollte die Tür der Verdampfungskammer ein von innen abdeckbares Sichtfenster haben. Alle benötigten Pumpen sollen mitinbegriffen sein und einen Arbeitsdruck von mindestens 2 x 10-7 mBar in angemessener Zeit erreichen können. Das Verdampfen der Materialien soll auch automatisiert erfolgen können. Die Glovebox soll eine Atmosphäre mit weniger als 1 ppm O2 und H2O haben, um reaktive und wasserempfindliche Materialien zu schützen. Das Frontfester der Glovebox sollte standardmäßig aus Sicherheitsglas bestehen. Desweiteren sollte die Glovebox über eine„Schnellspülung“ verfügen um die in ihr enthaltene Atmosphäre aufrechterhalten zu können. Desweiteren ist eine örtliche Kundenbetreuung und technischer Service wünschenswert.
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Es werden Varianten akzeptiert ✅
Referenznummer: FL 834/1-1 (A 715)
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Karlsruher Institut für Technologie (KIT).

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
Anzahlungen bis zur Höhe von max. 50 % des Kaufpreises werden nur gegen unbefristete Bankbürgschaft nach deutschem Recht geleistet.

Verfahren
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2016-01-08 📅
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Technischer Wert (50)
2. Preis (50)
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Herrn Boris Licker
Internetadresse: www.dfg.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: FL 834/1-1 (A 715)
Quelle: OJS 2015/S 227-412818 (2015-11-19)
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Region:
Deutschland Baden-Württemberg Karlsruhe Karlsruhe, Stadtkreis