Dünnschicht-Sputteranlage mit integriertem Trockenätzverfahren (RIE)

Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., vertreten durch den Geschäftsführenden Direktor, hier handelnd f

Das Max-Planck-Institut für Polymerforschung, Ackermannweg 10, 55128 Mainz beabsichtigt den Kauf einer Dünnschicht-Sputteranlage mit integriertem Trockenätzverfahren (RIE); eine Kombination aus einer RIE-Ätzanlage zur Vorreinigung mit anschließendem Sputter-Beschichtungsprozess. Die Anlage wird in einem Reinraum der Klasse 6 installiert und dient zur Einzelstückfertigung von Metall- und Halbleiterstrukturen für die Grundlagenforschung am Max-Planck-Institut für Polymerforschung. Insbesondere zur Bearbeitung wissenschaftlicher Fragestellungen in den Bereichen der molekularen Elektronik und organischer Halbleiter.
— Es sollen Substrate mit einem maximalen Durchmesser von 152,6 mm aus Siliziumoxid, Borosilikatglas oder Quarz beschichtet werden.
— Der Beschichtungsvorgang muss im Hochvakuum stattfinden und eine definierte Schichtdickenhomogenität von ≤ 5 % erreichen.
— Die zu bearbeitenden Substrate sind dabei über ein Handlersystem, unter einem definierten Vakuum, in der Anlage zu positionieren.
— Metallschichten aus Gold, Titan, Kobalt, Chrom, Platin, Tantal und Halbleiterschichten aus Siliziumoxid, Aluminiumoxid und Siliziumnitrid müssen herstellbar sein.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-12-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-11-06.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Pfeiffer Vacuum GmbH

Wer?

• Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., vertreten durch den Geschäftsführenden Direktor, hier handelnd f

Wie?

Wo?

• Rheinhessen-Pfalz › Mainz, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2015-11-06	Auftragsbekanntmachung
2016-02-19	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2015-11-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Menge oder Umfang: Siehe hierzu II.1.5).
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., vertreten durch den Geschäftsführenden Direktor, hier handelnd für das Max-Planck-Institut für Polymerforschung
Postanschrift: Ackermannweg 10
Postleitzahl: 55128
Postort: Mainz
Kontakt
Internetadresse: http://www.mpip-mainz.mpg.de 🌏
E-Mail: ausschreibung@mpip-mainz.mpg.de 📧
Telefon: +49 6131379409 📞
Fax: +49 6131379588 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-11-06 📅
Einreichungsfrist: 2015-12-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-11-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 218-397438
ABl. S-Ausgabe: 218
Zusätzliche Informationen

Die Vergabeunterlagen können unter der E-Mail-Adresse ausschreibung@mpip-mainz.mpg.de angefordert werden. Der Anforderer erhält per E-Mail einen entsprechenden Link sowie das korrespondierende Passwort übersandt. Dort können die Vergabeunterlagen nebst Anlagen heruntergeladen werden.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

— Es sollen Substrate mit einem maximalen Durchmesser von 152,6 mm aus Siliziumoxid, Borosilikatglas oder Quarz beschichtet werden.

— Der Beschichtungsvorgang muss im Hochvakuum stattfinden und eine definierte Schichtdickenhomogenität von ≤ 5 % erreichen.

— Die zu bearbeitenden Substrate sind dabei über ein Handlersystem, unter einem definierten Vakuum, in der Anlage zu positionieren.

— Metallschichten aus Gold, Titan, Kobalt, Chrom, Platin, Tantal und Halbleiterschichten aus Siliziumoxid, Aluminiumoxid und Siliziumnitrid müssen herstellbar sein.

Referenznummer: Dünnschicht-Sputteranlage mit integriertem Trockenätzverfahren (RIE)
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Mainz.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Für die Vergabe der Leistung kommen nur Unternehmen in Betracht, die fachkundig, leistungsfähig und zuverlässig sind. Als Nachweise hierfür hat der Bieter die nachfolgenden Belege mit seinem Angebot zu erbringen bzw. die geforderten Erläuterungen in seinem Angebot zu erbringen. Eignungsnachweise, die durch Präqualifizierungsverfahren erworben werden, sind nicht zugelassen.

Eignungsanforderungen zur persönlichen Lage des Wirtschaftsteilnehmers – Zuverlässigkeit: Folgende Angaben, Bescheinigungen, Beschreibungen, Erklärungen oder Nachweise sind von jedem Unternehmen mit dem Angebot einzureichen:

— Unternehmensdarstellung:

Unternehmensdarstellung / Erklärung über die Unternehmensstruktur (Name des Unternehmens (Firma), Anschrift, Rechtsform, organisatorische Gliederung, Leistungsspektrum, Gründungsjahr, Niederlassungen), einschließlich der personellen Kapazitäten.

— Eintragung im Berufs- oder Handelregister:

Erklärung über die Eintragung im Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes der EU-Gemeinschaft oder des Vertragsstaates des EWR-Abkommens, in dem der Bewerber ansässig ist, oder ein gleichwertiger Nachweis zum Gewerbebetrieb, sofern dieser nicht im Berufs- oder Handelsregister eingetragen ist.

— Eigenerklärung „Keine Ausschlussgründe vom Verfahren gemäß nachfolgendem Wortlaut (der Wortlaut entspricht § 6 EG Abs. (4) VOL/A bzw. § 45 der europaweit einheitlich geltenden Vergabekoordinierungsrichtlinie [RL 2004/18/EG]; die nachfolgend genannten Paragrafen geben die Umsetzung dieser europarechtlichen Vorgaben in das deutsche Recht wider):

Keine Person, deren Verhalten unserem Unternehmen zuzurechnen ist, ist rechtskräftig wegen Verstoßes gegen eine der folgenden Vorschriften verurteilt worden:

a) § 129 des Strafgesetzbuches (Bildung krimineller Vereinigungen), § 129a des Strafgesetzbuches (Bildung terroristischer Vereinigungen), § 129b des Strafgesetzbuches (kriminelle und terroristische Vereinigungen im Ausland),

b) § 261 des Strafgesetzbuches (Geldwäsche, Verschleierung unrechtmäßig erlangter Vermögenswerte),

c) § 263 des Strafgesetzbuches (Betrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EG oder gegen Haushalte richtet, die von der EG oder in ihrem Auftrag verwaltet werden,

d) § 264 des Strafgesetzbuches (Subventionsbetrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EG oder gegen Haushalte richtet, die von der EG oder in ihrem Auftrag verwaltet werden,

e) § 334 des Strafgesetzbuches (Bestechung), auch in Verbindung mit Artikel 2 des EU-Bestechungsgesetzes, Artikel 2 § 1 des Gesetzes zur Bekämpfung internationaler Bestechung, Artikel 7 Abs. 2 Nr. 10 des Vierten Strafrechtsänderungsgesetzes und § 2 des Gesetzes über das Ruhen der Verfolgungsverjährung und die Gleichstellung der Richter und Bediensteten des Internationalen Strafgerichtshofes,

f) Artikel 2 § 2 des Gesetzes zur Bekämpfung internationaler Bestechung (Bestechung ausländischer Abgeordneter im Zusammenhang mit internationalem Geschäftsverkehr),

g) § 370 Abgabenordnung, auch in Verbindung mit § 12 des Gesetzes zur Durchführung der gemeinsamen Marktorganisationen und der Direktzahlungen (MOG), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EG oder gegen Haushalte richtet, die von der EG oder in ihrem Auftrag verwaltet werden.

Einem Verstoß gegen diese Vorschriften gleichgesetzt sind Verstöße gegen entsprechende Strafnormen anderer Staaten.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Folgende Angaben, Bescheinigungen, Beschreibungen, Erklärungen oder Nachweise sind grundsätzlich von jedem Unternehmen mit dem Angebot einzureichen:

— Umsatzdarstellung:

Angabe jeweils bezogen auf die letzten drei (3) abgeschlossenen Geschäftsjahre

— des Gesamtumsatzes des Unternehmens;

— des Umsatzes bezogen auf die besondere Leistungsart, die Gegenstand dieser Vergabe ist [§ 7 EG Abs. 2 lit. d) VOL/A (Leistungsart bezogener Umsatz)].

— Betriebshaftpflichtversicherung:

Erklärung des Bieters, dass er über eine Betriebshaftpflichtversicherung verfügt mit Angabe und Nachweis der Versicherungssummen bzw. dass er eine solche im Falle der Zuschlagserteilung binnen zwei (2) Wochen nach Vertragsschluss abschließt und diese über die gesamte Laufzeit des Vertrages unterhält.

Die Versicherungssumme für Personen- und Sachschäden muss dabei mindestens eine 1 000 000 EUR und für Vermögensschäden mindestens 100 000 EUR betragen.

— Berufsgenossenschaft:

Erklärung über die Mitgliedschaft in der zuständigen Berufsgenossenschaft nach den Bestimmungen des Landes, in dem das Unternehmen des Bieters seinen Sitz hat.

— Eigenerklärung „Keine Ausschlussgründe vom Verfahren“ gemäß nachfolgendem Wortlaut (der Wortlaut entspricht § 6 EG Abs. (6) VOL/A bzw. § 45 der europaweit einheitlich geltenden Vergabekoordinierungsrichtlinie [RL 2004/18/EG] und gibt daher die Umsetzung dieser europarechtlichen Vorgaben in das deutsche Recht wider):

a) unterschriebene Eigenerklärung, dass über das Vermögen des Bieter nicht das Insolvenzverfahren oder ein vergleichbares gesetzliches Verfahren eröffnet oder die Eröffnung beantragt oder dieser Antrag mangels Masse abgelehnt worden ist (nach den Bestimmungen des Landes, in dem das Unternehmen des Bewerbers seinen Sitz hat;

b) unterschriebene Eigenerklärung, dass sich der Bieter nicht in Liquidation befindet;

c) unterschriebene Eigenerklärung, dass der Bieter nachweislich keine schwere Verfehlung begangen hat, welche seine Zuverlässigkeit als Bieter infrage stellt;

d) unterschriebene Eigenerklärung, dass der Bieter seiner Verpflichtung zur Zahlung von Steuern und Abgaben sowie den Beiträgen zur gesetzlichen Sozialversicherung ordnungsgemäß erfüllt hat;

e) unterschriebene Eigenerklärung, dass der Bieter im Angebot keine vorsätzlich unzutreffenden Erklärungen in Bezug auf seine Eignung abgegeben hat.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Folgende Angaben, Bescheinigungen, Beschreibungen, Erklärungen oder Nachweise sind von jedem Unternehmen mit dem Angebot einzureichen:

— Ausführliche Darstellung von Referenzen des Bieters über in Art und Umfang gleichwertige Aufträge, jeweils mit Angabe der Ansprechpartner bei diesen Referenzunternehmen, des Auftragswertes und der Auftragsdauer.

Hierfür sind die Vorgaben des den Vergabeunterlagen beigefügten Formulars für Unternehmensreferenz einzuhalten und die geforderten Referenzangaben im Angebot zu machen.

— Qualitätssicherung und Qualitätsmanagement:

Der Bieter hat mit seinem Angebot seine vorhandenen Qualitätssicherungsmaßnahmen und sein vorhandenes Qualitätsmanagementsystem für Leistungen zu beschreiben, die mit den ausgeschriebenen vergleichbar sind. Dabei sind die Anforderungen der DIN EN ISO 9001 zugrunde zu legen. Ausreichend ist auch die Vorlage einer entsprechenden, gültigen Zertifizierungsurkunde in Kopie (z. B. DIN EN ISO 9001).

Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien:

Der Auftragnehmer hat mit Vertragsabschluss eine Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe von 10 % des Nettoauftragswertes zu stellen. Die Bürgschaft muss selbstschuldnerisch, zeitlich unbefristet und unter Verzicht auf die Einrede der Anfechtung, Aufrechenbarkeit und der Vorausklage von einer europäischen Bank oder einem in der EU zugelassenen Kreditversicherer ausgestellt sein. Nach der Abnahme und dem Vorliegen der CE-Zertifizierung für das vertragsgegenständliche System wird die Bürgschaft zurückgegeben.

Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Die Zahlung hat nach ordnungsgemäßer Leistungserbringung und Rechnungseingang zu erfolgen.

30 % Anzahlung gegen Gestellung einer Anzahlungsbürgschaft in entsprechender Höhe; die Bürgschaft muss selbst schuldnerisch, zeitlich unbefristet und unter Verzicht auf die Einrede der Anfechtung, Aufrechenbarkeit und der Vorausklage von einer europäischen Bank oder einem in der EU zugelassenen Kreditversicherer ausgestellt sein.

40 % nach Lieferung des vertragsgegenständlichen Systems und Rückgabe der Anzahlungsbürgschaft.

30 % nach Abnahme des vertragsgegenständlichen Systems mit schriftlichem Abnahmeprotokoll.

Alle Rechnungen des Auftragnehmers sind sofort nach Eingang beim Auftraggeber und Erfüllungen der Voraussetzungen ohne Abzug zur Zahlung fällig. Eventuelle Avalprovisionen gehen zulasten des Auftragnehmers.

Bei Bietergemeinschaften ist ausschließlich das geschäftsführende Mitglied berechtigt Zahlungen des Auftraggebers für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft und späteren Arbeitsgemeinschaft mit schuldbefreiender Wirkung anzunehmen.

Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll:

Bietergemeinschaften sind als Gesellschaft bürgerlichen Rechts (GbR), als offene Handelsgesellschaft (oHG) sowie in haftungsrechtlich vergleichbarer Form einer anderen EU-Rechtsordnung zugelassen. Es ist im Angebot aufzuzeigen, wer an der Bietergemeinschaft beteiligt ist. Dem Auftraggeber ist im Angebot ein verantwortlicher Ansprechpartner aus der Bietergemeinschaft zu benennen. Die Übernahme der gesamtschuldnerischen Haftung ist mit dem Angebot durch jedes Mitglied der Bietergemeinschaft zu erklären. Im Angebot ist außerdem detailliert die aufgabenspezifische Aufteilung der Leistungserbringung darzulegen. Geforderte Nachweise sind von jedem Mitglied der Bietergemeinschaft mit dem Angebot zu erbringen.

Im Falle einer Bietergemeinschaft ist dem Angebot eine separate, formlose Eigenerklärung zur vergabe- und kartellrechtlichen Zulässigkeit und Unbedenklichkeit der Bietergemeinschaft beizulegen, in der diese zu den Gründen des Zusammenschlusses Stellung nimmt: insbesondere ist darzulegen, warum die einzelnen Mitglieder der Bietergemeinschaft alleine objektiv die zur Teilnahme am Vergabeverfahren erforderliche Leistungsfähigkeit nicht aufweisen und worin die wirtschaftlichen Vorteile dieses Zusammenschlusses liegen. Die einheitliche Abwicklung vom Bestell- bis zum Zahlungsprozess muss gewährleistet sein.

Bieter, welche als Mitglied einer Bietergemeinschaft ein Angebot abgeben, können kein eigenes Angebot einreichen.

Sonstige besondere Bedingungen:

Die Auftragserteilung und -durchführung erfolgt auf der Grundlage der „Zusätzlichen Vertragsbedingungen der Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V.“, die mit dem Versand der Vergabeunterlagen zur Verfügung gestellt werden. Nachrangig gelten die Allgemeinen Vertragsbedingungen für die Ausführung von Leistungen – ausgenommen Bauleistungen (VOL/B).

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2016-02-29 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Herrn Mathias Manderscheid

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: Dünnschicht-Sputteranlage mit integriertem Trockenätzverfahren (RIE)

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern, Vergabekammer Südbayern
Postanschrift: Maximilianstraße 39
Postort: München
Postleitzahl: 80538
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Telefon: +49 8921762411 📞
Fax: +49 8921762847 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 107 Abs. 3 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, soweit der Antrag erst nach Zuschlagserteilung zugestellt wird (§ 114 Abs. 2 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 10 Tage nach Absendung (per Fax oder auf elektronischem Weg) der Bekanntgabe der Vergabeentscheidung (§ 101 a Abs. 1 GWB). Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße unverzüglich nach Kenntnis bzw. – soweit die Vergabeverstöße aus der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen erkennbar sind – bis zum Ablauf der Bewerbungs- bzw. Angebotsfrist gerügt wurden (§ 107 Abs. 3 Nr. 1-3 GWB).

Quelle: OJS 2015/S 218-397438 (2015-11-06)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2016-02-19)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Telefon: +49 6131-379409 📞
Fax: +49 6131-379588 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-02-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-02-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 038-061782
Verweist auf Bekanntmachung: 2015/S 218-397438
ABl. S-Ausgabe: 38

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 4115251
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: D-Mainz.

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Die Kriterien, die in den Ausschreibungsunterlagen aufgeführt wurden. (100)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2016-02-10 📅
Name: Pfeiffer Vacuum GmbH
Postanschrift: Berliner Straße 43
Postort: Asslar
Postleitzahl: 35614
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: info@pfeiffer-vacuum.de 📧
Internetadresse: www.pfeiffer-vacuum.com 🌏
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 5

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern – Vergabekammer Südbayern
Telefon: +49 89-21762411 📞
Internetadresse: http://www.regierung.oberbayern.bayern.de/behoerde/mittelinstanz/vergabekammer 🌏
Fax: +49 89-21762847 📠
Quelle: OJS 2016/S 038-061782 (2016-02-19)

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