E_848_219409 cl-ort – Maskenreiniger

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

E_848_219409 cl-ort – Maskenreiniger.
Reinigungsprozessor für die Reinigung von quadratischen Substraten der Größen 6„x6“, 7„x7“ und 9„x9“;
Material der Substrate: Quarz, Soda-Lime-Glas.
Eigenschaften:
— Sprühschleuderreinigung;
— Prozessmedien:
H2SO4, temperiert,
H2O2,
DI-H2O mit NH4OH und CO2 zur Reionisation.
— Prozesse:
Piranha, bis 80 °C,
Jet-Spray, Hochdruck,
Fan-Spray- und Rückseitenspülung,
Megaschallsystem.
— Automatische Tankbefüllung;
— Arbeitssicherheit/CE-Konformität.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-01-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-12-16.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2015-12-16 Auftragsbekanntmachung
2015-12-17 Ergänzende Angaben
2016-06-16 Bekanntmachung über vergebene Aufträge