Fraunhofer - IPMS Dresden - 048/750 018 Reinraumerweiterung - A - Fachplanung TA Facility/ Peripherie RR
„Reinraum-Erweiterungen für die Forschung an MEMS und NEMS auf 200 mm Wafersubstraten“
des Fraunhofer Instituts für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Um Hochtechnologieforschung durchzuführen ist eine entsprechende Infrastruktur essentiell. Hierzu betreibt das Fraunhofer IPMS die Forschung in eigenen Reinräumen.
Die MEMS-Prozesslinie des Fraunhofer IPMS soll mit dieser Maßnahme auf die 200 mm Wafergröße umgestellt werden, da andernfalls das Fraunhofer IPMS inkompatibel für die Erforschung von neuartigen hochintegrierten funktionalen Mikrosystemen wird.
Die Versorgungstechnik muss vor Inbetriebnahme der neuen Prozessanlagen im Reinraum angepasst werden. Das Reinraumklima (Sauberkeit nach ISO 14644; Umgebungsparameter); die Medienversorgung (Qualität; Menge) sowie Sicherheitstechnik müssen den neuen Anforderungen gerecht werden. Es sind Investitionen in die Erweiterung der Lüftungs- und Vakuumtechnik, Kühlwasser- und Energieversorgung, Prozessgastechnik und Prozess-Chemikalienversorgung sowie Reinstwasserversorgung notwendig.
Die neuen Prozessanlagen werden in das zentrale Datennetz integriert, um eine Überwachung und Steuerung von Anlagentechnik sowie den erforderlichen Datenaustausch sicherzustellen. Dazu sind Investitionen in das bestehende Datennetz inklusive aktiver Komponenten, entsprechender Datenauswertelektronik und Steuerungstechnik sowie Messtechnik vorgesehen.
Zusammenfassend sind folgende Aufgaben im Reinraum zu realisieren: 1. Ebene 1-Technik und Equipment-Bypack, 2. Ebene 2-Clean-Sub-FAB mit ca. 1 600 m2 Iso-Kl. 4 bis 6, 3. Ebene 3-Clean-Room mit ca. 1 500 m2 Iso-Kl. 3 bis 4, 4. Ebene 4-Technik, 5. Erweiterung der Ver-und Entsorgungssysteme bei laufenden Betrieb, 6. Reinstwasseranlage-Erweiterung/Neuanlage, 7. Abwasserbehandlung, Neutralisation, Entgiftung, Entsorgung, Erweiterung/Neuanlage, 8. Reinstgas- und Prozessgasversorgung Erweiterung/Neuanlage, 9.Reinstchemikalienversorgung Erweiterung/Neuanlage, 10. MSR und Gebäudemanagement Erweiterung, 11. Detektionssysteme für brennbare, toxische, korrosive Gase Erweiterung/Neuanlage, 12. Erweiterung/Einbindung der Detektionssysteme in das Gebäudesicherheitsmanagement, Gesamtbaumaßnahme 30 000 000 EUR netto davon ca. 2 300 000 EUR netto Bau technische Ausrüstung.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-05-22.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-04-20.
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Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
| 2015-04-20
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Auftragsbekanntmachung
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