Horizontaler Hochtemperaturofen

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Beschaffung horizontale Ofenanlage zur Halbleiterfertigung.
Die Anlage muss 4 oder 5 individuell steuerbare Prozess-Rohre bieten. Diese müssen horizontal angeordnet und zur Bearbeitung von jeweils mindestens 50 Prozess-Wafern sowie den notwendigen Dummy-Wafern im Batch geeigenet sein. Die Anlage ist für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung von 150 mm und 200 mm Si-Substraten in einem ISO 4 Reinraum zur Herstellung von SiO2-Schichten als auch für Temperungen vorgesehen.
— Aufbau:
• 3 oder 4 Rohre für Trocken- und Feucht-Oxidation bis 1 100°C;
• 1 Rohr für Reflow-Prozesse mit O2/N2 bis 1 100°C;
• Rohr-Reinigungs-System DCE;
• Roboter-System für die Wafer-Handhabung (Kassette > Boot > Kassette);
— Eigenschaften:
• Umrüstungsfreier Parallelbetrieb von 150 mm und 200 mm Substraten;
• Die Anlage verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen (Gaswarnsysteme, Signal-Lampen, UPS, etc.);
• Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Rezept-Management, die zeitaufgelöste Aufzeichnung aller relevanter Prozess-Daten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP sowie eine dokumentierte Kommunikationsschnittstelle zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware (MES).

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-11-24. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-10-30.

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• Elektrowärmegeräte › Öfen

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2015-10-30	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2015-10-30)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Öfen
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Öfen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-10-30 📅
Einreichungsfrist: 2015-11-24 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-11-04 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 213-388283
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 207-366346
ABl. S-Ausgabe: 213
Zusätzliche Informationen

Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG). Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Beschaffung horizontale Ofenanlage zur Halbleiterfertigung.

Die Anlage muss 4 oder 5 individuell steuerbare Prozess-Rohre bieten. Diese müssen horizontal angeordnet und zur Bearbeitung von jeweils mindestens 50 Prozess-Wafern sowie den notwendigen Dummy-Wafern im Batch geeigenet sein. Die Anlage ist für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung von 150 mm und 200 mm Si-Substraten in einem ISO 4 Reinraum zur Herstellung von SiO2-Schichten als auch für Temperungen vorgesehen.

— Aufbau:

• 3 oder 4 Rohre für Trocken- und Feucht-Oxidation bis 1 100°C;

• 1 Rohr für Reflow-Prozesse mit O2/N2 bis 1 100°C;

• Rohr-Reinigungs-System DCE;

• Roboter-System für die Wafer-Handhabung (Kassette > Boot > Kassette);

— Eigenschaften:

• Umrüstungsfreier Parallelbetrieb von 150 mm und 200 mm Substraten;

• Die Anlage verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen (Gaswarnsysteme, Signal-Lampen, UPS, etc.);

• Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Rezept-Management, die zeitaufgelöste Aufzeichnung aller relevanter Prozess-Daten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP sowie eine dokumentierte Kommunikationsschnittstelle zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware (MES).

Es werden Varianten akzeptiert ✅
Dauer: 6 Monate
Referenznummer: E_848_219401_cl-Ols
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EFRE-Mittel.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Dresden.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre;

— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben;

— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde;

— Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen;

— Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150 a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

— Komplette Referenzen (Ansprechpartner, Kontaktdaten) von vergleichbaren Systemen, nicht älter als 3 Jahre;

— Nennung der Anzahl der gelieferten vergleichbaren Systeme für die Halbleiterindustrie…

… in Europa;

… weltweit.

Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Selbstschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:

Die unter III.2) geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV.3.4) genannten Termin vollständig vorzulegen. Unvollständigkeit kann zum Ausschluss führen.

Bei evtl. Einsatz von Subunternehmern ist spätestens mit Abgabe des Angebots sowie der Eignungsunterlagen bekanntzugeben. Ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.2) geforderten Unterlagen nachzuweisen. Der Anteil am Leistungsumfang ist dazulegen. Ferner ist vom Unterauftragnehmer rechtsverbindlich zu bestätigen, dass er im Auftragsfall uneingeschränkt zur Verfügung steht.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2016-01-15 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Frau Lönz
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Name: Fraunhofer Gesellschaft e. V. über Vergabeportal deutsche-eVergabe
Postanschrift: Wilhelmstr. 20-22
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65185
Telefon: +49 6119491060 📞
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL für weitere Informationen: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2014-10-28 📅
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: E_848_219401_cl-Ols
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2014/S 207-366346

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin.

Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2015/S 213-388283 (2015-10-30)

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