Lithographie-System
Der Fachbereich Physik der Freien Universität benötigt ein hochauflösendes Elektronenstrahl-Lithographie System mit integriertem Rasterelektronenmikroskop zur Herstellung einzelner Nanostrukturen auf nicht leitenden Substraten.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-01-19.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-12-16.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
2015-12-16
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Auftragsbekanntmachung
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