MOVPE System für AlGaN Epitaxie

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

MOVPE System für AlGaN Epitaxie:
Es erfolgt eine Ausschreibung für eine F&E MOVPE (metal organic vapor phase epitaxy) Anlage zur Herstellung hochwertiger AlxGa1-xN Epitaxieschichten mit hohem Al Gehalt auf Substraten mit Durchmessern bis zu 125 mm. Das System soll für die Benutzung hochreiner (8N bis 9N) metallorganischer Pozessgase für das Wachstum und Dotierung (i. e. H2, N2, NH3, TMGa, TMAl, SiH4 oder Si2H6, Cp2Mg) bei Prozesstemperaturen bis zu 1 300°C (idealerweise ≥1400°C) und Prozessdrücken von 50 bis 800 mbar ausgelegt sein. Alle verwendeten Materialien, insbesondere die Prozessgasen und erhöhten Temperaturen ausgesetzt sind, müssen eine sichere Prozessführung über längere Zeiträume hinweg erlauben. Das Reaktorkonzept soll flexible Konfigurationen für verschiedene Substratdurchmesser ermöglichen (insbesondere: 3 x 2", ≥ 1 x 3", 1 x 100 mm, 1 x 125 mm) und gleichzeitig typische Betriebskosten innerhalb einer F&E Umgebung minimieren. Neben der Reaktionskammer selbst mit der integrierten Substrathalteranordnung muss das System alle notwendigen Komponenten für einen kontrollierten Epitaxieprozess beinhalten (Heizsystem, Prozesskontrolle, Gaszuführung, Gasreinigung, Vakuumsystem, Druckkontrolle, Abgasbehandlung, Kühlsystem, Sicherheitssystem). Die Leckrate der Reaktionskammer soll 5109 mbarl/s nicht überschreiten (per He-Lecktest zu verifizieren). Zur Ermöglichung von Kontrollmessungen auf dem Substrat während der Prozessführung, insbesondere von Temperatur, Schichtdicke und Substratkrümmung müssen entsprechende optische Zugänge in das Reaktordesign integriert werden. Gleichzeitig soll jedoch darauf geachtet werden, dass ein negativer Einfluss auf die Temperaturhomogenität entlang der Substrate minimiert wird. Die Reaktionskammer soll über eine separate „glove box” mit “load lock” zugänglich sein, um eine Kontamination mit Sauerstoff oder Luftfeuchtigkeit zu minimieren. Das System soll eine maximale Konstruktionshöhe von 2,70 m nicht überschreiten und den Standards einer CE Sicherheitszertifizierung entsprechen.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-09-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-08-28.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Aixtron Ltd.

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• • Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• • Mittelfranken › Erlangen, Kreisfreie Stadt