MOVPE System für AlGaN Epitaxie

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

MOVPE System für AlGaN Epitaxie:
Es erfolgt eine Ausschreibung für eine F&E MOVPE (metal organic vapor phase epitaxy) Anlage zur Herstellung hochwertiger AlxGa1-xN Epitaxieschichten mit hohem Al Gehalt auf Substraten mit Durchmessern bis zu 125 mm. Das System soll für die Benutzung hochreiner (8N bis 9N) metallorganischer Pozessgase für das Wachstum und Dotierung (i. e. H2, N2, NH3, TMGa, TMAl, SiH4 oder Si2H6, Cp2Mg) bei Prozesstemperaturen bis zu 1 300°C (idealerweise ≥1400°C) und Prozessdrücken von 50 bis 800 mbar ausgelegt sein. Alle verwendeten Materialien, insbesondere die Prozessgasen und erhöhten Temperaturen ausgesetzt sind, müssen eine sichere Prozessführung über längere Zeiträume hinweg erlauben. Das Reaktorkonzept soll flexible Konfigurationen für verschiedene Substratdurchmesser ermöglichen (insbesondere: 3 x 2", ≥ 1 x 3", 1 x 100 mm, 1 x 125 mm) und gleichzeitig typische Betriebskosten innerhalb einer F&E Umgebung minimieren. Neben der Reaktionskammer selbst mit der integrierten Substrathalteranordnung muss das System alle notwendigen Komponenten für einen kontrollierten Epitaxieprozess beinhalten (Heizsystem, Prozesskontrolle, Gaszuführung, Gasreinigung, Vakuumsystem, Druckkontrolle, Abgasbehandlung, Kühlsystem, Sicherheitssystem). Die Leckrate der Reaktionskammer soll 5109 mbarl/s nicht überschreiten (per He-Lecktest zu verifizieren). Zur Ermöglichung von Kontrollmessungen auf dem Substrat während der Prozessführung, insbesondere von Temperatur, Schichtdicke und Substratkrümmung müssen entsprechende optische Zugänge in das Reaktordesign integriert werden. Gleichzeitig soll jedoch darauf geachtet werden, dass ein negativer Einfluss auf die Temperaturhomogenität entlang der Substrate minimiert wird. Die Reaktionskammer soll über eine separate „glove box” mit “load lock” zugänglich sein, um eine Kontamination mit Sauerstoff oder Luftfeuchtigkeit zu minimieren. Das System soll eine maximale Konstruktionshöhe von 2,70 m nicht überschreiten und den Standards einer CE Sicherheitszertifizierung entsprechen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-09-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-08-28.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2015-08-28 Auftragsbekanntmachung
2016-02-18 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2015-08-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang: 1. Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-08-28 📅
Einreichungsfrist: 2015-09-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-09-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 169-307965
ABl. S-Ausgabe: 169
Zusätzliche Informationen
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG). Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
MOVPE System für AlGaN Epitaxie:
Es erfolgt eine Ausschreibung für eine F&E MOVPE (metal organic vapor phase epitaxy) Anlage zur Herstellung hochwertiger AlxGa1-xN Epitaxieschichten mit hohem Al Gehalt auf Substraten mit Durchmessern bis zu 125 mm. Das System soll für die Benutzung hochreiner (8N bis 9N) metallorganischer Pozessgase für das Wachstum und Dotierung (i. e. H2, N2, NH3, TMGa, TMAl, SiH4 oder Si2H6, Cp2Mg) bei Prozesstemperaturen bis zu 1 300°C (idealerweise ≥1400°C) und Prozessdrücken von 50 bis 800 mbar ausgelegt sein. Alle verwendeten Materialien, insbesondere die Prozessgasen und erhöhten Temperaturen ausgesetzt sind, müssen eine sichere Prozessführung über längere Zeiträume hinweg erlauben. Das Reaktorkonzept soll flexible Konfigurationen für verschiedene Substratdurchmesser ermöglichen (insbesondere: 3 x 2", ≥ 1 x 3", 1 x 100 mm, 1 x 125 mm) und gleichzeitig typische Betriebskosten innerhalb einer F&E Umgebung minimieren. Neben der Reaktionskammer selbst mit der integrierten Substrathalteranordnung muss das System alle notwendigen Komponenten für einen kontrollierten Epitaxieprozess beinhalten (Heizsystem, Prozesskontrolle, Gaszuführung, Gasreinigung, Vakuumsystem, Druckkontrolle, Abgasbehandlung, Kühlsystem, Sicherheitssystem). Die Leckrate der Reaktionskammer soll 5109 mbarl/s nicht überschreiten (per He-Lecktest zu verifizieren). Zur Ermöglichung von Kontrollmessungen auf dem Substrat während der Prozessführung, insbesondere von Temperatur, Schichtdicke und Substratkrümmung müssen entsprechende optische Zugänge in das Reaktordesign integriert werden. Gleichzeitig soll jedoch darauf geachtet werden, dass ein negativer Einfluss auf die Temperaturhomogenität entlang der Substrate minimiert wird. Die Reaktionskammer soll über eine separate „glove box” mit “load lock” zugänglich sein, um eine Kontamination mit Sauerstoff oder Luftfeuchtigkeit zu minimieren. Das System soll eine maximale Konstruktionshöhe von 2,70 m nicht überschreiten und den Standards einer CE Sicherheitszertifizierung entsprechen.
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Es werden Varianten akzeptiert ✅
Dauer: 7 Monate
Referenznummer: E_079_225317_cl-wit
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Erlangen.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: (1) Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre.
(3) Eigenerklärung über das ordnungsgemäße. Abführen von Steuern und Abgaben sowie der Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung.
(4) Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet.
(5) Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen.
(6) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).
Technische und berufliche Fähigkeiten:
(7) Komplette Referenzen (Kontaktdaten, Ansprechpartner) über MOVPE Anlagen für die Epitaxie von AlGaN Verbindungen, nicht älter als 3 Jahre und Nennung der Anzahl solcher installierten Anlagen.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Selbstschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:
Die unter III.2) geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV.3.4) genannten Termin vollständig einzureichen. Unvollständigkeit führt zum Ausschluss.
Bei evtl. Einsatz von Subunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der aufgeführten…
… Unterlagen nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
… Eignungskriterien unter III.2) nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Deren Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.2) aufgeführten Unterlagen nachzuweisen.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Auswahlkriterien: Gemäs Eignungskriterien, Referenzen, Umsatz.
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: C2 – Frau Lönz
URL der Teilnahme: http://deutsche-evergabe.de 🌏
Name: Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Wilhelmstraße 20-22
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65185
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL für weitere Informationen: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Telefon: +49 6119491060 📞
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsch-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: E_079_225317_cl-wit
Zusätzliche Informationen
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch
den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG).
Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Internetadresse: http://www.deutsch-eVergabe.de 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.
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Quelle: OJS 2015/S 169-307965 (2015-08-28)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2016-02-18)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Postanschrift: Hansastraße 27
Kontakt
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7547 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-02-18 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-02-23 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 037-060131
Verweist auf Bekanntmachung: 2015/S 169-307965
ABl. S-Ausgabe: 37

Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Bayern.

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (35)
2. Technische Systemfähigkeit (55)
3. Sicherheitskonzept (5)
4. Lieferplan (5)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2016-02-08 📅
Name: Aixtron Ltd.
Postanschrift: Buckingway Business Park
Postort: Swavesey, Cambridge
Postleitzahl: CB24 4FQ
Land: Vereinigtes Königreich 🇬🇧
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.
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Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2016/S 037-060131 (2016-02-18)
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