Photolithography mask/reticle for MPW-Service and Research
IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Das IHP bietet verschiedene SiGe-BiCMOS Technologien für ein Multi-Wafer Programm (MPW) an.
Pro Jahr bestellt das IHP ungefähr 300 Einzelmasken mit verschiedenen Anforderungen/Spezifikationen. Abhängig von den Anforderungen nutzt das IHP Multi-Ebenen-Photomasken für seine Maskensätze.
Bevor das IHP die Masken in die Produktion von Wafern überführen kann, müssen die Maskenanbieter eine Bewertungsprozedur/Evaluierung durchlaufen.
1) Der Photomaskenanbieter hat die Anforderungen bezüglich der Maskenqualität zu erfüllen, welche im Dokument ?IHP_mask_requirements.pdf aufgeführt sind.
2) Für die Evaluierung sollte der Maskenlieferant vier Photomasken mit kritischen Maskenebenen für einen feststehenden MPW-Durchlauf bereitstellen.
Diese kritischen Maskenebenen sind beschrieben in ?IHP_mask_requirements.pdf?. Das IHP wird bestimmte/dedizierte Wafer mit entsprechenden Maskenebenen prozessieren und die Qualität hinsichtlich folgender Merkmale prüfen:
a) Messungen von photolithographischen Kontrollstrukturen
b) Messungen von elektrischen PKM (Prozess-Kontroll-Monitore) Strukturen
c) Evaluierung der Ausbeute
3) Die Evaluierungsergebnisse werden mit den Maskenanbietern ausgetauscht.
Die Beschaffung erfolgt bedarfsgerecht über den Nutzungszeitraum auf Basis eines Rahmenvertrages.
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-09-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-07-29.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2015-07-29 | Auftragsbekanntmachung |
| 2016-03-09 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2015-07-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Schablonen
Menge oder Umfang:
Gesamtwert des Auftrags: 3 400 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Schablonen 📦
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für ein oder mehrere Los(e)
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 3355625359 📞
Fax: +49 335562525359 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-07-29 📅
Einreichungsfrist: 2015-09-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-08-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 147-270548
ABl. S-Ausgabe: 147
Zusätzliche Informationen
Objekt
Umfang der Beschaffung
Häufigkeit der zu vergebenden Aufträge:
Kurze Beschreibung:
Losnummer: 1
Bezeichnung des Loses: Maskensatz 1
Losnummer: 2
Bezeichnung des Loses: Maskensatz 2
Losnummer: 3
Bezeichnung des Loses: Maskensatz 3
Dauer: 48 Monate
Referenznummer: IHP-2015-T-057
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Auftragsausführung
Sonstige besondere Bedingungen:
Verfahren
Zahl der Wirtschaftsteilnehmer der Rahmenvereinbarung: 3
Laufzeit der Rahmenvereinbarung in Jahren: 4
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2016-01-15 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2015-09-22 📅
Öffnungsort: Frankfurt Oder.
Ort des Eröffnungstermins: Frankfurt Oder.
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Verhältnis zwischen Leistung und Preis (Wertung der Leistung gemäß der nachfolgend aufgeführten Kriterien)
2. Qualität (60)
3. Angebotspreis (40)
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
i. A. S. Rohner
URL der Dokumente: http://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/ 🌏
Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: IHP-2015-T-057
Zusätzliche Informationen
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3318661719 📞
Fax: +49 3318661652 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 3355625359 📞
Fax: +49 335562525359 📠
Quelle: OJS 2015/S 147-270548 (2015-07-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Schablonen
Menge oder Umfang:
Nach einer erfolgreichen Evaluierung von verschiedenen Masken-Anbietern wird das IHP einen Rahmenvertrag mit mindestens drei Lieferanten abschließen, der Vertrag soll zunächst für 3 Jahre geschlossen werden mit der Option zur Verlängerung um ein weiteres Jahr.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Schablonen 📦
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für ein oder mehrere Los(e)
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 3355625359 📞
Fax: +49 335562525359 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-07-29 📅
Einreichungsfrist: 2015-09-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-08-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 147-270548
ABl. S-Ausgabe: 147
Zusätzliche Informationen
Elektronischer Zugang zu den Vergabeunterlagen: http://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYY5V
Vorzulegende Nachweise:
Tariftreue; Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung.
Objekt
Umfang der Beschaffung
Häufigkeit der zu vergebenden Aufträge:
Der erste Abruf erfolgt mit Zuschlag. Die Mengen für die Folgejahre wurden auf Basis eines detaillierten Prognose ermittelt, die als Grundlage für das Leistungsverzeichnis herangezogen wurden. Hierfür können jedoch seitens des AGs keine verbindlichen Abnahmegarantien übernommen werden.
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Das IHP bietet verschiedene SiGe-BiCMOS Technologien für ein Multi-Wafer Programm (MPW) an.
Pro Jahr bestellt das IHP ungefähr 300 Einzelmasken mit verschiedenen Anforderungen/Spezifikationen. Abhängig von den Anforderungen nutzt das IHP Multi-Ebenen-Photomasken für seine Maskensätze.
Bevor das IHP die Masken in die Produktion von Wafern überführen kann, müssen die Maskenanbieter eine Bewertungsprozedur/Evaluierung durchlaufen.
1) Der Photomaskenanbieter hat die Anforderungen bezüglich der Maskenqualität zu erfüllen, welche im Dokument ?IHP_mask_requirements.pdf aufgeführt sind.
2) Für die Evaluierung sollte der Maskenlieferant vier Photomasken mit kritischen Maskenebenen für einen feststehenden MPW-Durchlauf bereitstellen.
Diese kritischen Maskenebenen sind beschrieben in ?IHP_mask_requirements.pdf?. Das IHP wird bestimmte/dedizierte Wafer mit entsprechenden Maskenebenen prozessieren und die Qualität hinsichtlich folgender Merkmale prüfen:
a) Messungen von photolithographischen Kontrollstrukturen
b) Messungen von elektrischen PKM (Prozess-Kontroll-Monitore) Strukturen
c) Evaluierung der Ausbeute
3) Die Evaluierungsergebnisse werden mit den Maskenanbietern ausgetauscht.
Die Beschaffung erfolgt bedarfsgerecht über den Nutzungszeitraum auf Basis eines Rahmenvertrages.
Bezeichnung des Loses: Maskensatz 1
Losnummer: 2
Bezeichnung des Loses: Maskensatz 2
Losnummer: 3
Bezeichnung des Loses: Maskensatz 3
Dauer: 48 Monate
Referenznummer: IHP-2015-T-057
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder).
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen werden dann nach Art und Umfang anhand von Punkten 1-6 bewertet.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
— Referenzgeber:
— Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:
— Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs:
Referenzen können nur bei vollständigen Angaben bewertet werden!
Angabe der Gesamtumsätze und Umsätze mit gleichwertiger Art sowie der Mitarbeiteranzahl für die letzten 3 Geschäftsjahre und Angabe der Ansprechpartner bei Fehlermeldungen.
Mindeststandards:
Abgabe einer Eigenerklärung hinsichtlich der Zuverlässigkeit auf Basis der Kriterien gemäß VOL/A-EG § 6 EG unter Verwendung der Mustervorlage „Eigenerklärung“.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Der Bieter muss mit der Angebotsabgabe seine fachliche Eignung umfassend nachweisen. Diese Nachweise müssen es der Vergabestelle ermöglichen, eine eindeutige Entscheidung darüber zu treffen, ob der Bieter über die notwendige Fachkunde, Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit verfügt und damit für eine Auftragserteilung geeignet ist.
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Die nachfolgenden Informationen werden für die Eignungsprüfung erforderlich. Eine Eintragung in ein Präqualifizierungsunternehmen ersetzt nicht die geforderten Erklärungen und Nachweise!
Die Informationen sind mit der Angebotsabgabe vorzulegen.
Sonstige besondere Bedingungen:
Vorzulegende Nachweise:
Referenzen; Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen werden dann nach Art und Umfang anhand von Punkten 1-6 bewertet.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
— Referenzgeber:
— Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:
— Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs:
Referenzen können nur bei vollständigen Angaben bewertet werden!; Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung
Tariftreueerklärung (EG); Es ist die Tariftreueerklärung gemäß Mustervorlage unterzeichnet abzugeben.; Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung
Berufshaftlichversicherung; Nachweis einer Berufshaftpflichtversicherung mit einer Haftungssumme von 2,0 Mio. für Personenschäden und 0,5 Mio. Euro für Vermögensschäden.; Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung.
Verfahren
Zahl der Wirtschaftsteilnehmer der Rahmenvereinbarung: 3
Laufzeit der Rahmenvereinbarung in Jahren: 4
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2016-01-15 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2015-09-22 📅
Öffnungsort: Frankfurt Oder.
Ort des Eröffnungstermins: Frankfurt Oder.
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Verhältnis zwischen Leistung und Preis (Wertung der Leistung gemäß der nachfolgend aufgeführten Kriterien)
2. Qualität (60)
3. Angebotspreis (40)
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
i. A. S. Rohner
URL der Dokumente: http://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/ 🌏
Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: IHP-2015-T-057
Zusätzliche Informationen
Elektronischer Zugang zu den Vergabeunterlagen: http://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYY5V
Vorzulegende Nachweise:
Tariftreue; Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung.
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3318661719 📞
Fax: +49 3318661652 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Ein Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens muss innerhalb einer Frist von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, eingereicht werden (§ 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB).
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 3355625359 📞
Fax: +49 335562525359 📠
Quelle: OJS 2015/S 147-270548 (2015-07-29)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2016-03-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 88 013 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postort: Frankfurt an der Oder
Kontakt
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-03-09 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-03-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 056-093626
Verweist auf Bekanntmachung: 2015/S 147-270548
ABl. S-Ausgabe: 56
Zusätzliche Informationen
Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Qualität (60)
2. Angebotspreis (40)
Auftragsvergabe
1️⃣
Datum des Vertragsabschlusses: 2016-01-13 📅
Name: Photronics MZD GmbH
Postanschrift: Maria Reiche Straße 4
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: sales_dre@photronics.com 📧
Internetadresse: http://www.photronics.com 🌏
2️⃣
Name: Compugraphics International Ltd.
Postanschrift: Unit F
Postort: Glenrothes
Postleitzahl: KY7 4TJ
Land: Vereinigtes Königreich 🇬🇧
E-Mail: michael.mccallion@compugraphics.com 📧
Internetadresse: http://www.compugraphics.com 🌏
3️⃣
Name: Toppan Photomasks Germany GmbH
Postanschrift: Rähnitzer Allee 9
E-Mail: wolfgang.stamp@photomask.com 📧
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2016/S 056-093626 (2016-03-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 88 013 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postort: Frankfurt an der Oder
Kontakt
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-03-09 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-03-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 056-093626
Verweist auf Bekanntmachung: 2015/S 147-270548
ABl. S-Ausgabe: 56
Zusätzliche Informationen
IV.2.1) Zuschlagskriterien:
das wirtschaftlich günstigste Angebot in Bezug auf:
Verhältnis zwischen Leistung und Preis (Wertung der Leistung gemäß der nachfolgend aufgeführten Kriterien)
Weitere vorzulegende Nachweise:
Tariftreue (Mit dem Angebot mittels Eigenerklärung vorzulegen).
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYY5V.
Elektronischer Zugang zu den Vergabeunterlagen: http://vergabemarktplatz.brandenburg.deA/MPCenter/
Mehr anzeigen
Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder).
Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Qualität (60)
2. Angebotspreis (40)
Auftragsvergabe
1️⃣
Datum des Vertragsabschlusses: 2016-01-13 📅
Name: Photronics MZD GmbH
Postanschrift: Maria Reiche Straße 4
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: sales_dre@photronics.com 📧
Internetadresse: http://www.photronics.com 🌏
2️⃣
Name: Compugraphics International Ltd.
Postanschrift: Unit F
Postort: Glenrothes
Postleitzahl: KY7 4TJ
Land: Vereinigtes Königreich 🇬🇧
E-Mail: michael.mccallion@compugraphics.com 📧
Internetadresse: http://www.compugraphics.com 🌏
3️⃣
Name: Toppan Photomasks Germany GmbH
Postanschrift: Rähnitzer Allee 9
E-Mail: wolfgang.stamp@photomask.com 📧
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2016/S 056-093626 (2016-03-09)
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