Reinigungsanlage im Frontend-of-Line

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wafer-Reinigungsanlage
Beschreibung:
Die Anlage muss die Vorder- und Rückseite von 200 mm Silizium-Wafern mittels flüssiger Chemikalien reinigen sowie im Anschluss den Wafer trocknen können. Die Anlage ist für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung in einem ISO 4 Reinraum vorgesehen.
Aufbau:
o Roboter-System für die Wafer-Handhabung (25 Wafer-Kassette)
o Einlaßfilter für die Chemikalien und Gase müssen vorhanden sein
o 4 Prozeßchemikalien (SPM, APM, HPM, DHF), Prozesstemperaturen und –konzentrationen je nach Reinigungsprinzip und Referenzprozessen
o Heißwassergenerator gehört zum Lieferumfang
o Prozessrezepteinstellungen (z.B. Temperatur, Bearbeitungszeit, chemischer Fluss usw.) und chemische Konzentrationen werden in-situ gemessen und vom Benutzerschnittstellencomputer kontrolliert.
o Maglev Pumpen für Kreislaufsysteme
o Keine Kontamination der Wafer durch Berührung des automatischen Roboter-Systems
o Überwachung der Medien-Dosierung über den Chemikalien-Fluss oder deren Konzentration
o Wafer-Reihenfolge muss vor und nach dem Prozess identisch sein
Eigenschaften:
o Die Anlage ist nach dem aktuellen Stand der Technik mit allen notwendigen Einrichtungen versehen, um die Wafer einwandfrei reinigen und trockenen zu können.
o Die Anlage verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen (Gaswarnsysteme, Signal-Lampen, UPS, etc.)
o Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Rezept-Management (Microsoft Office kompatibel), die zeitaufgelöste Aufzeichnung aller relevanter Prozess-Daten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP sowie ein dokumentiertes Kommunikationsprotokoll zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-12-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-11-10.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • AP&S International GmbH

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• • Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• • Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt