Spin Spray Tool for Acid Cleaning Batch Processes
Bei den Maschinen handelt es sich um Systeme zur Reinigung von Silizium-Scheiben mit einem Durchmesser von 200 Millimetern. Das Prinzip des Reinigungsverfahrens soll das Sprühschleuder-Verfahren sein. Die Systeme sollen 25 Siliziumscheiben gleichzeitig bearbeiten können. Sie müssen in der Lage sein, Siliziumscheiben mit unterschiedlichen Reinigungs-Mixturen zu bearbeiten. Nach der Behandlung mit der entsprechenden Reinigungs-Mixtur soll eine Spülung mit deionisiertem Wasser erfolgen, dem eine Trocknung mit Hilfe von heißem Stickstoff folgt.
Einzelheiten zu den detaillierten Anforderungen an die Maschinen, der Arbeitsweise und den Prozessbedingungen sind in den Dokumenten ?Acceptance_FEOL-SAT?, ?Acceptance_BEOL-SAT?, ?Specification neue Anlage_FEOL-SAT_V1? und ?Specification neue Anlage_BEOL-SAT_V1? dargestellt.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-05-19.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-03-25.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2015-03-25
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Auftragsbekanntmachung
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| 2015-06-15
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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