Sputteranlage zur Beschichtung von Halbleitersubstraten

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Sputteranlage zur Beschichtung von Halbleitersubstraten:
Das Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme in Freiburg entwickelt Solarzellen der nächsten Generation. Für die Prozessierung der Solarzellen soll eine Beschichtungsanlage für Metalle, leitfähige Oxide und dielektrische Antireflexschichten angeschafft werden, in welcher W, Si und Mo basierte Schichten in folgenden Systemen hergestellt werden können:
— W-Si-N: Stöchiometrie ca. W0.4Si0.4N0.2, DC-Prozess reaktiv;
— W-C: RF-Prozess nicht reaktiv;
— WOx: DC-Prozess reaktiv, WOx möglichst transparent und leitfähig;
— MOx: DC-Prozess reaktiv, MOx möglichst transparent und leitfähig;
— Si-N: DC-Prozess reaktiv, hohe Transparenz und Brechungsindex;
— W-N: DC-Prozess reaktiv.
Eine Auswahl von Prozessen (W-Si-N, W-C, MOx und Si-N) ist bei der Abnahme mit einer Schichtdickenhomogenität von besser als +/- 5 % über einen Substratdurchmesser von 150 mm nachzuweisen.
Die Substrate dürfen während der Prozesse nicht über 110 °C erhitzt werden.
Die Beladung der Substrate erfolgt manuell. Es ist aber eine Erweiterung zu einer späteren Roboterbeladung vorzusehen und nachzuweisen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-11-13. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-09-29.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• FHR Anlagenbau GmbH

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Baden-Württemberg › Freiburg

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2015-09-29	Auftragsbekanntmachung
2015-12-09	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2015-09-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-09-29 📅
Einreichungsfrist: 2015-11-13 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-10-03 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 192-347234
ABl. S-Ausgabe: 192
Zusätzliche Informationen

Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG). Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Sputteranlage zur Beschichtung von Halbleitersubstraten:

Das Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme in Freiburg entwickelt Solarzellen der nächsten Generation. Für die Prozessierung der Solarzellen soll eine Beschichtungsanlage für Metalle, leitfähige Oxide und dielektrische Antireflexschichten angeschafft werden, in welcher W, Si und Mo basierte Schichten in folgenden Systemen hergestellt werden können:

— W-Si-N: Stöchiometrie ca. W0.4Si0.4N0.2, DC-Prozess reaktiv;

— W-C: RF-Prozess nicht reaktiv;

— WOx: DC-Prozess reaktiv, WOx möglichst transparent und leitfähig;

— MOx: DC-Prozess reaktiv, MOx möglichst transparent und leitfähig;

— Si-N: DC-Prozess reaktiv, hohe Transparenz und Brechungsindex;

— W-N: DC-Prozess reaktiv.

Eine Auswahl von Prozessen (W-Si-N, W-C, MOx und Si-N) ist bei der Abnahme mit einer Schichtdickenhomogenität von besser als +/- 5 % über einen Substratdurchmesser von 150 mm nachzuweisen.

Die Substrate dürfen während der Prozesse nicht über 110 °C erhitzt werden.

Die Beladung der Substrate erfolgt manuell. Es ist aber eine Erweiterung zu einer späteren Roboterbeladung vorzusehen und nachzuweisen.

Beschreibung der Optionen: Optional ist verschiedenes Zubehör anzubieten.
Dauer: 4 Monate
Referenznummer: E_035_305411_cl-ort
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Freiburg.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;

— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Abgaben sowie der Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung;

— Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet;

— Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen;

— Auszug aus dem Gewerbezentralregister gem. § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

— Komplette Referenzen (Kontaktdaten, Ansprechpartner) von vergleichbaren Systemen mit vergleichbaren Prozessen gemäß Spezifikation, nicht älter als 3 Jahre.

Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Selbstschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:

Die unter III.2) geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV.3.4) genannten Termin vollständig einzureichen. Unvollständigkeit kann zum Ausschluß führen.

Bei evtl. Einsatz von Subunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der aufgeführten Eignungskriterien unter III.2 nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2015-12-11 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2015-11-15 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Frau Lönz
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Name: Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Wilhelmstraße 20-22
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65185
Telefon: +49 6119491060 📞
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL für weitere Informationen: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: E_035_305411_cl-ort
Zusätzliche Informationen

Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG).

Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF, Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin.

Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2015/S 192-347234 (2015-09-29)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2015-12-09)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Postanschrift: Hansastraße 27c
Kontakt
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 8912053229 📞
Fax: +49 8912057547 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-12-09 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-12-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 241-437286
Verweist auf Bekanntmachung: 2015/S 192-347234
ABl. S-Ausgabe: 241

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: BM E_035_305411_cl-ort
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Freiburg im Breisgau.

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (35)
2. Technische Ausführung (Konformität mit Anlagenkonfiguration und Prozessen gemäß Leistungsbeschreibung und Zusatzleistung) (65)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2015-11-30 📅
Name: FHR Anlagenbau GmbH
Postanschrift: Am Hügel 2
Postort: Ottendorf-Okrilla
Postleitzahl: 01458
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 6

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Quelle: OJS 2015/S 241-437286 (2015-12-09)

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