Vollständiges UHV-System
Vollständiges UHV-System samt einem dem letzten Stand der Technik entsprechende Rastersondenmikroskope zur in-situ Bestimmung von topographischen und lokalen elektronischen Strukturen von Schichten und Grenzflächen auf der atomaren Scala.
UHV-Kammer für SPM mit Flanschen für Vakuumpumpen, Druckmessung, Probenschleuse und Transfersystem einschließlich UHV-Schieber, Materialverdampfer,
Ionenquellen, Temperaturmessung, Fenster und weitere Reserveflansche
Pumpenkonfiguration, bestehend aus Ionengetterpumpe,Titansublimationspumpe, Turbomolekularpumpe und Scrollpumpe einschließlich elektrischer Versorgung
Pneumatischer UHV-Schieber
Probentransfersystem
UHV-Druckmessung
Ausheizpaket für die Präparationskammer
Elektronik-Rack für alle Elektronikkomponenten der Präparationskammer
Systemrahmen: stabiler Rahmen aus Aluminiumprofilen mit Seitewänden und Deckplatten aus Metall
SPM Kopf:
? Miniatur SPM Kopf mit Dämpfung
? Permanente Kühlung während des Messvorganges
? Optischer Zugängen zur Probe für Licht und für in-situ Bedampfen
? Scan Bereich ca.1500nm x 1500nm
? Messbereich in z Bereich +/- 175nm
? Montageflansch DN 150CF
? Temperaturbereich: 120K-1200K für STM und 120K-600K für AFM
? Kurzzeitstabilität: <0.03K/min
? Temperaturdrift: ungefähr 10K/Stunde für 145K
? Stabilität: <5pm
Hochstabile Elektronik für Probenheizung durch Infrarotstrahlung
Temperaturkontroller:
? Temperaturkontroller für SPM und Probe
? Separate analoge Heizung für STM Kopf und Probe, temperaturanzeigen, Alarmkontrolle für beide Temperaturen und externer Interlock
Wobblestick für SPM
Computer samt Monitor zur SPM Steuerung
Elektronik für SPM
Ionenquelle:
? Variable Eintauchtiefe
? Geeignet für inerte und reaktive Gase
? Ionenstrom bis zu 20uA
Gaseinlasssystem:
? Hochpräzises UHV-Gasdosventil
? Gasleitung (CF16 Flansche)
Probenschleusekammer
Pumpenkonfiguration, bestehend aus Turbomolekularpumpe und Scrollpumpe einschließlich elektrischer Versorgung
UHV Vollbereich Druckmessung
Systemzubehoer für Probenmontage
Manuell UHV Schieber
Pneumatisch UHV Schieber
Turbomolekularpumpenpaket
Installationskosten
Versandkosten.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-02-16.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-12-23.
Wer?
Wie?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2015-12-23
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Auftragsbekanntmachung
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