Kurze Beschreibung
Das Hochleistungs-Excimerlaser-System soll für die Durchführung von Grundlagenforschung auf den Gebieten der Laserpulsabscheidung von dünnen Schichten und der Lasermikrobearbeitung eingesetzt werden. Für den Einsatz zum Targetabtrag bei der Laserpulsabscheidung müssen hohe Energiefluenzen auf der Targetoberfläche von bis zu 30 J/cm bei Fleckgrößen im mm-Bereich realisierbar sein.