DUV-Scanner LIT6

IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Leistungsumfang / Leistungsbeschreibung DUV(KrF) Scanner für F&E Aufgaben
1.
Der DUV-Scanner (KrF @ 248,4nm) sollte Offline und auch Inline mit einem Wafertrack zusammenarbeiten können und für 200mm (8?) Si-Wafer konfiguriert sein. Das Belichtungsgerät / der DUV-Scanner sollte sehr gute Mix/Match Resultate zu einem i-Line Belichtungsgerät NIKON SF150 & DUV-Scanner Belichtungsgerät NIKON S207D hinsichtlich Linse und Overlay liefern und nachweisen. Desweitern sind alle Testreticle und Wafer zum Tool Qualifying/Matching im Angebot enthalten. Zusätzliche Kompatibilität mit bisher vorhanden Masken und Markensystem, für einen DUV-Scanner (NIKON) S207D und einem i-Line-Stepper (NIKON) SF150, muss gewährleistet bzw. nachgewiesen werden. Das Gerät muss der CE Konformität entsprechen. Im Angebot sollten enthalten sein: Equipment Konfiguration Dokumente, Standard Acceptance Test Dokumente, ein Floorplan, Reticle Design Guide sowie ein ausführlicher Site Preparation Guide. Sämtliche Dokumente müssen sowohl in englischer als auch in deutscher Sprache vorliegen. Der DUV-Scanner muss in der Konstruktion und Anwendung der EG-Machinenrichtlinie entsprechen. Weiterhin muss im Betrieb die Normen zur EMV EN62000-3-2 und EN62000-3-12 eingehalten werden. Der DUV-Scanner muss an einem TN-S Versorgungsnetz betrieben werden können (3 Phasen, N-Leiter, PE-Leiter), mit 230/400 VAC / 50 Hz Versorgungsspannung. Eine Gerätehöhe < 3,20m ist unbedingt einzuhalten. Nur Angebote, die den DUV-Scanner als Neugerät ausweisen werden bei der Ausschreibung berücksichtigt. Ein gebrauchter (used), instandgesetzter bzw. überholter (refurbished) DUV-Scanner darf nicht angeboten werden und führt zum Ausschluss des Angebots im weiteren Verlauf der Ausschreibung.
Weitere zu erfüllende technische Spezifikation:
— Belichtungsfeldgröße: 26x33mm
— Maskengröße: 6x6 Inch (15,24x15,24 cm)
— Maskenreduktion: 4x
— Auflösungsvermögen: ? 110 nm
— Overlay (M+3?): ? 9 nm (Tool-to-itself)
— Linsen NA: 0,55 – 0,82
— Illumination Sigma: 0,30-0,90
— Stage Stepping Precision: 3? ? 7 nm
— Dynamic Lens Distortion: ±10 nm
— Total Focus Deviation: (MAX-MIN)? 90 nm
2. (Optional)
Optional können zusätzliche Soft- und Hardwaremodule, die im Basisumfang nicht enthalten sind und zur Leistungsverbesserung des unter 1. angebotenen Belichtungsgerätes beitragen, angeboten werden.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-08-15. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-07-13.

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2016-07-13 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2016-07-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: IHP--2016--038
Kurze Beschreibung:
Leistungsumfang / Leistungsbeschreibung DUV(KrF) Scanner für F&E Aufgaben 1. Der DUV-Scanner (KrF @ 248,4nm) sollte Offline und auch Inline mit einem Wafertrack zusammenarbeiten können und für 200mm (8?) Si-Wafer konfiguriert sein. Das Belichtungsgerät / der DUV-Scanner sollte sehr gute Mix/Match Resultate zu einem i-Line Belichtungsgerät NIKON SF150 & DUV-Scanner Belichtungsgerät NIKON S207D hinsichtlich Linse und Overlay liefern und nachweisen. Desweitern sind alle Testreticle und Wafer zum Tool Qualifying/Matching im Angebot enthalten. Zusätzliche Kompatibilität mit bisher vorhanden Masken und Markensystem, für einen DUV-Scanner (NIKON) S207D und einem i-Line-Stepper (NIKON) SF150, muss gewährleistet bzw. nachgewiesen werden. Das Gerät muss der CE Konformität entsprechen. Im Angebot sollten enthalten sein: Equipment Konfiguration Dokumente, Standard Acceptance Test Dokumente, ein Floorplan, Reticle Design Guide sowie ein ausführlicher Site Preparation Guide. Sämtliche Dokumente müssen sowohl in englischer als auch in deutscher Sprache vorliegen. Der DUV-Scanner muss in der Konstruktion und Anwendung der EG-Machinenrichtlinie entsprechen. Weiterhin muss im Betrieb die Normen zur EMV EN62000-3-2 und EN62000-3-12 eingehalten werden. Der DUV-Scanner muss an einem TN-S Versorgungsnetz betrieben werden können (3 Phasen, N-Leiter, PE-Leiter), mit 230/400 VAC / 50 Hz Versorgungsspannung. Eine Gerätehöhe < 3,20m ist unbedingt einzuhalten. Nur Angebote, die den DUV-Scanner als Neugerät ausweisen werden bei der Ausschreibung berücksichtigt. Ein gebrauchter (used), instandgesetzter bzw. überholter (refurbished) DUV-Scanner darf nicht angeboten werden und führt zum Ausschluss des Angebots im weiteren Verlauf der Ausschreibung. Weitere zu erfüllende technische Spezifikation: — Belichtungsfeldgröße: 26x33mm — Maskengröße: 6x6 Inch (15,24x15,24 cm) — Maskenreduktion: 4x — Auflösungsvermögen: ? 110 nm — Overlay (M+3?): ? 9 nm (Tool-to-itself) — Linsen NA: 0,55 – 0,82 — Illumination Sigma: 0,30-0,90 — Stage Stepping Precision: 3? ? 7 nm — Dynamic Lens Distortion: ±10 nm — Total Focus Deviation: (MAX-MIN)? 90 nm 2. (Optional) Optional können zusätzliche Soft- und Hardwaremodule, die im Basisumfang nicht enthalten sind und zur Leistungsverbesserung des unter 1. angebotenen Belichtungsgerätes beitragen, angeboten werden.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: http://www.ihp-microelectronics.com 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 3355625-359 📞
Fax: +49 3355625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/company/announcements/categoryOverview.do?method=search&searchString=%22CXSTYYDYYER%22 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-07-13 📅
Einreichungsfrist: 2016-08-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-07-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 136-244503
ABl. S-Ausgabe: 136
Zusätzliche Informationen
Die Auftraggeberin behält sich Änderungen an der Leistungsbeschreibung, insbesondere als Ergebnis der Verhandlungen, vor. Sämtliche Punkte der Leistungsbeschreibung sind Verhandlungsgegenstand; es gibt keine Anforderung, die nicht Gegenstand von Verhandlungen sein kann. Mindestanforderungen im Sinne des § 17 Abs. 10 VgV werden daher im jetzigen Verfahrensstand nicht festgelegt. Auf Grundlage der eingereichten finalen Angebote der Bieter wird ein vom IHP in beiden Verfahren anhand der festgelegten Zuschlagskriterien ein Bestbieter ausgewählt. Für dessen angebotenes Gerät wird das dynamische und statische Statikgutachten eingeholt. Erst wenn für beide Gutachten ein positives Ergebnis vorliegt, wird der Zuschlag erteilt. Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYER.
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Leistungsumfang / Leistungsbeschreibung DUV(KrF) Scanner für F&E Aufgaben
1.
Der DUV-Scanner (KrF @ 248,4nm) sollte Offline und auch Inline mit einem Wafertrack zusammenarbeiten können und für 200mm (8?) Si-Wafer konfiguriert sein. Das Belichtungsgerät / der DUV-Scanner sollte sehr gute Mix/Match Resultate zu einem i-Line Belichtungsgerät NIKON SF150 & DUV-Scanner Belichtungsgerät NIKON S207D hinsichtlich Linse und Overlay liefern und nachweisen. Desweitern sind alle Testreticle und Wafer zum Tool Qualifying/Matching im Angebot enthalten. Zusätzliche Kompatibilität mit bisher vorhanden Masken und Markensystem, für einen DUV-Scanner (NIKON) S207D und einem i-Line-Stepper (NIKON) SF150, muss gewährleistet bzw. nachgewiesen werden. Das Gerät muss der CE Konformität entsprechen. Im Angebot sollten enthalten sein: Equipment Konfiguration Dokumente, Standard Acceptance Test Dokumente, ein Floorplan, Reticle Design Guide sowie ein ausführlicher Site Preparation Guide. Sämtliche Dokumente müssen sowohl in englischer als auch in deutscher Sprache vorliegen. Der DUV-Scanner muss in der Konstruktion und Anwendung der EG-Machinenrichtlinie entsprechen. Weiterhin muss im Betrieb die Normen zur EMV EN62000-3-2 und EN62000-3-12 eingehalten werden. Der DUV-Scanner muss an einem TN-S Versorgungsnetz betrieben werden können (3 Phasen, N-Leiter, PE-Leiter), mit 230/400 VAC / 50 Hz Versorgungsspannung. Eine Gerätehöhe < 3,20m ist unbedingt einzuhalten. Nur Angebote, die den DUV-Scanner als Neugerät ausweisen werden bei der Ausschreibung berücksichtigt. Ein gebrauchter (used), instandgesetzter bzw. überholter (refurbished) DUV-Scanner darf nicht angeboten werden und führt zum Ausschluss des Angebots im weiteren Verlauf der Ausschreibung.
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Weitere zu erfüllende technische Spezifikation:
— Belichtungsfeldgröße: 26x33mm
— Maskengröße: 6x6 Inch (15,24x15,24 cm)
— Maskenreduktion: 4x
— Auflösungsvermögen: ? 110 nm
— Overlay (M+3?): ? 9 nm (Tool-to-itself)
— Linsen NA: 0,55 – 0,82
— Illumination Sigma: 0,30-0,90
— Stage Stepping Precision: 3? ? 7 nm
— Dynamic Lens Distortion: ±10 nm
— Total Focus Deviation: (MAX-MIN)? 90 nm
2. (Optional)
Optional können zusätzliche Soft- und Hardwaremodule, die im Basisumfang nicht enthalten sind und zur Leistungsverbesserung des unter 1. angebotenen Belichtungsgerätes beitragen, angeboten werden.
Geschätzter Gesamtwert: 10 000 000 EUR 💰
Geschätzter Wert ohne MwSt: 10 000 000 EUR 💰
Dauer: 12 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder).

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
1. Nachweis einer Berufs- oder Betriebshaftpflichtversicherung
2. Bescheinigung in Steuersachen.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Um die erforderliche technische und berufliche Leistungsfähigkeit des Bewerbers oder Bieters überprüfen zu können benötigen wir folgende Unterlagen:
1. Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
— Referenzgeber:
— Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs:
2. Angabe der technischen Fachkräfte oder der technischen Stellen, die im Zusammenhang mit der Leistungserbringung eingesetzt werden sollen, unabhängig davon, ob diese dem Unternehmen angehören oder nicht, und zwar insbesondere derjenigen, die mit der Qualitätskontrolle beauftragt sind,
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3. Beschreibung der technischen Ausrüstung, der Maßnahmen zur Qualitätssicherung und der Untersuchungs- und Forschungsmöglichkeiten des Unternehmens,
4. Erklärung, aus der ersichtlich ist, über welche Ausstattung, welche Geräte und welche technische Ausrüstung das Unternehmen für die Ausführung des Auftrags verfügt,
Mindeststandards:
1. Gerät ist CE Konform
2. EG-Machinenrichtlinien sind erfüllt
3. Normen zur EMV EN62000-3-2 und EN62000-3-12 werden eingehalten
4. Gerät muss mit TN-S Versorgungsnetz betrieben werden können (3 Phasen, N-Leiter, PE-Leiter), mit 230/400 VAC / 50 Hz Versorgungsspannung.
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
Vorzulegende Nachweise:
Eigenerklärung ILO; Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung
Frauenförderung; Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung
Tariftreue; Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung.

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2016-08-15 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Internetadresse: www.ihp-microelectronics.com 🌏
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/company/announcements/categoryOverview.do?method=search&searchString=%22CXSTYYDYYER%22 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Die Auftraggeberin behält sich Änderungen an der Leistungsbeschreibung, insbesondere als Ergebnis der Verhandlungen, vor. Sämtliche Punkte der Leistungsbeschreibung sind Verhandlungsgegenstand; es gibt keine Anforderung, die nicht Gegenstand von Verhandlungen sein kann. Mindestanforderungen im Sinne des § 17 Abs. 10 VgV werden daher im jetzigen Verfahrensstand nicht festgelegt.
Mehr anzeigen
Auf Grundlage der eingereichten finalen Angebote der Bieter wird ein vom IHP in beiden Verfahren anhand der festgelegten Zuschlagskriterien ein Bestbieter ausgewählt. Für dessen angebotenes Gerät wird das dynamische und statische Statikgutachten eingeholt. Erst wenn für beide Gutachten ein positives Ergebnis vorliegt, wird der Zuschlag erteilt.
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Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYER.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Quelle: OJS 2016/S 136-244503 (2016-07-13)
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