E_848_219415 cl-wit – 5 manuelle Nassbänke, 2 IPA-Trockner, 2 manuelle Nassbänke, 2 Spin Rinse Dryer

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

E_848_219415 cl-wit – 5 manuelle Nassbänke, 2 IPA-Trockner, 2 manuelle Nassbänke, 2 Spin Rinse Dryer:
Das Ausschreibungspaket umfasst folgende manuellen Nassbänke (wet benches) und Komponenten für den Parallelbetrieb von 150 mm und 200 mm Wafern:
* Neubeschaffung einer Nassbank für Metall-Ätzen (FeOL and BeOL).
* Neubeschaffung einer Nassbank für Nitrid-Ätzen (FeOL and BeOL).
* Neubeschaffung einer Nassbank für anisotropes Si-Ätzen (FeOL and BeOL).
* Neubeschaffung einer Nassbank für anisotropes Si-Ätzen (Post-Processing).
* Neubeschaffung einer Nassbank für die Bearbeitung organischer Materialien und Lift-Off-Prozesse unter Verwendung von z.B. NMP, Aceton, IPA.
* Neubeschaffung von 2 IPA-Trocknern für 200 mm (Optional: Parallelbetrieb 150 mm und 200 mm).
Neubeschaffung einer Nassbank für Metall- und Oxid-Ätzen.
* Neubeschaffung einer Nassbank für Spezial-Bearbeitung (Glas-Substrate).
* Neubeschaffung von 2 SRD's für die 200 mm Prozessierung.
Die Anlagen sind für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung in einem ISO 4 Reinraum vorgesehen. Die Nassbänke erlauben die Prozessierung und Überwachung von 150 mm und 200 mm Wafern im Parallelbetrieb in Teflon-Carriern oder teilweise sogenannten Wafer Holder Tandem. Zeitaufgelöste Aufzeichnung und Überwachung aller relevanter Prozess-Daten (z. B. alle Bedienschritte, Fehlermeldungen und Prozessparametern) mit Datum und Uhrzeit sowie eine Schnittstelle zur leichten Datensicherung. Alle verwendeten Materialien (Dichtungen, Ventile, Arbeitsflächen, Auffangwannen etc.) müssen für die jeweiligen Prozesse ausgelegt und reinraumkompatibel sein. Die Anlagen verfügen über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen (Leck-Sensorik, Signal-Lampen, UPS, Löschanlage für die Lösemittelnassbank etc.). Alle notwendigen Schnittstellen für bauseitige Entsorgung und Medienversorgung sind vorhanden.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-03-03. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-02-02.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • AP&S International GmbH

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• • Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• • Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt