E_848_219432 cl-bla – 2 Waferprober
Kurzspezifikation 2 Waferprober;
Einsatz im parametrischen Test und im In-Line-Test;
Wahlfreies Handling von 150 mm (optional), 200 mm und 300 mm Wafern aus Kassetten bzw. FOUP;
Optional: Handling von Wafern auf Sägefolie und Handling von Wafersegmenten;
Waferdicke im Bereich 390 µm.- 1 200 µm; optional: 250…1 500 µm;
Chucktemperatur: -40 °C…+200 °C;
automatische Probemark-Inspektion;
automatisches Probe to Pad Alignment;
optisches und/oder kapazitives Profiling;
automatische Nadelhöhenausrichtung;
Proberplaten vorbereitet für 12“ Kabelinterface;
Reinraumklasse 1 im Innenraum des Probers bei allen Chucktemperaturen;
Licht- und EMV-dichte Abschirmung;
Fernsteuerung über GPIB zw. LAN-Interface möglich.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-05-06.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-04-06.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2016-04-06
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Auftragsbekanntmachung
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| 2016-10-10
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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