Elektronenstrahllithographiesystem
Gegenstand der Ausschreibung ist die Beschaffung eines Elektronenstrahllithographiesystem mit hoher Auflösung.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-06-22.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-05-17.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2016-05-17
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Auftragsbekanntmachung
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