Gerätecluster zur Charakterisierung von siliziumbasierten Micro- und Nanotechnologien auf 200 mm Wafern
Das Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik benötigt für die weiteren Entwicklungen neuer Technologien Charakterisierungstools für 8? Silizium-Wafer. Die Geräte sind von OEMs (Original-Equipment-Manufacture) zu beziehen und werden in 3 Teillosen bestehend aus:
Los 1: Defektinspektionsgerät;
Los 2: Messsystem für Schichtdicken und optische Konstanten;
Los 3: CD-Rasterelektronenmikroskop.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-10-19.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-09-13.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2016-09-13
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Auftragsbekanntmachung
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| 2017-01-19
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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