Gerätecluster zur Charakterisierung von siliziumbasierten Micro- und Nanotechnologien auf 200 mm Wafern

IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Das Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik benötigt für die weiteren Entwicklungen neuer Technologien Charakterisierungstools für 8? Silizium-Wafer. Die Geräte sind von OEMs (Original-Equipment-Manufacture) zu beziehen und werden in 3 Teillosen bestehend aus:
Los 1: Defektinspektionsgerät;
Los 2: Messsystem für Schichtdicken und optische Konstanten;
Los 3: CD-Rasterelektronenmikroskop.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-10-19. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-09-13.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2016-09-13 Auftragsbekanntmachung
2017-01-19 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2016-09-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: IHP-2016-081
Kurze Beschreibung:
Das Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik benötigt für die weiteren Entwicklungen neuer Technologien Charakterisierungstools für 8? Silizium-Wafer. Die Geräte sind von OEMs (Original-Equipment-Manufacture) zu beziehen und werden in 3 Teillosen bestehend aus: Los 1: Defektinspektionsgerät; Los 2: Messsystem für Schichtdicken und optische Konstanten; Los 3: CD-Rasterelektronenmikroskop.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: http://www.ihp-microelectronics.com 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/company/announcements/categoryOverview.do?method=search&searchString=%22CXSTYYDYYE1%22 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-09-13 📅
Einreichungsfrist: 2016-10-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-09-17 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 180-322361
ABl. S-Ausgabe: 180
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und? sofern im konkreten Verfahren einschlägig? für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist. Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden. Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYE1.
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Das Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik benötigt für die weiteren Entwicklungen neuer Technologien Charakterisierungstools für 8? Silizium-Wafer. Die Geräte sind von OEMs (Original-Equipment-Manufacture) zu beziehen und werden in 3 Teillosen bestehend aus:
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Los 1: Defektinspektionsgerät;
Los 2: Messsystem für Schichtdicken und optische Konstanten;
Los 3: CD-Rasterelektronenmikroskop.
Höchstzahl der Lose, die an einen Bieter vergeben werden: 3
Bezeichnung des Loses: Defektinspektionsgerät
Losnummer: 1
Kurze Beschreibung: Defektinspektionsgerät.
Geschätzter Wert ohne MwSt: 700 000 EUR 💰
Dauer: 14 Tage
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: 16ES0620.
Bezeichnung des Loses: Messsystem für Schichtdicken und optische Konstanten
Losnummer: 2
Kurze Beschreibung: Messsystem für Schichtdicken und optische Konstanten.
Bezeichnung des Loses: CD-Rasterelektronenmikroskop
Losnummer: 3
Kurze Beschreibung: CD-Rasterelektronenmikroskop.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder).

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Um die erforderliche technische und berufliche Leistungsfähigkeit des Bewerbers oder Bieters überprüfen zu können benötigen wir folgende Unterlagen:
1. Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
— Referenzgeber:
— Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs:
2. Beschreibung der technischen Ausrüstung, der Maßnahmen zur Qualitätssicherung und der Untersuchungs- und Forschungsmöglichkeiten des Unternehmens,
3. Erklärung, aus der ersichtlich ist, über welche Ausstattung, welche Geräte und welche technische Ausrüstung das Unternehmen für die Ausführung des Auftrags verfügt,

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2016-11-13 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2016-10-19 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Frankfurt (Oder).

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Internetadresse: www.ihp-microelectronics.com 🌏
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/company/announcements/categoryOverview.do?method=search&searchString=%22CXSTYYDYYE1%22 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und? sofern im konkreten Verfahren einschlägig? für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
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Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYE1.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Quelle: OJS 2016/S 180-322361 (2016-09-13)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-01-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 2016/S 180-322361
Kurze Beschreibung:
Das Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik benötigt für die weiteren Entwicklungen neuer Technologien Charakterisierungstools für 8” Silizium-Wafer. Die Geräte sind von OEMs (Original-Equipment-Manufacture) zu beziehen und werden in 3 Teillosen bestehend aus: Los 1: Defektinspektionsgerät, Los 2: Messsystem für Schichtdicken und optische Konstanten, Los 3: CD-Rasterelektronenmikroskop.
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Gesamtwert des Auftrags: 5 904 320 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Gerätecluster zur Charakterisierung von siliziumbasierten Micro- und Nanotechnologien auf 200 mm Wafern

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-01-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-01-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 016-025601
Verweist auf Bekanntmachung: 2016/S 180-322361
ABl. S-Ausgabe: 16

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Das Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik benötigt für die weiteren Entwicklungen neuer Technologien Charakterisierungstools für 8” Silizium-Wafer. Die Geräte sind von OEMs (Original-Equipment-Manufacture) zu beziehen und werden in 3 Teillosen bestehend aus:
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Los 1: Defektinspektionsgerät,
Los 2: Messsystem für Schichtdicken und optische Konstanten,

Verfahren
Vergabekriterien
Kostenkriterium: Leistungsfähigkeit/Qualität
Gewichtung der Kosten: 50
Kostenkriterium: Fristen
Gewichtung der Kosten: 10
Kostenkriterium: Konstruktion
Gewichtung der Kosten: 20
Kostenkriterium: Betriebskosten

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2016-11-13 📅

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: S. Rohner
Quelle: OJS 2017/S 016-025601 (2017-01-19)
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