I-line Stepper

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Es soll ein i-line Stepper ausgewählt werden. Mit dieser Projektions-lithographiean. sollen Fotolackschichten auf Halbleitersubs. (Wafer) mit hoher Präzision und Genauigkeit bezüglich Auflösungsverm. (MFS, minimal feature size), Lage der zu belichtenden Strukturen zu bereits strukturierten Schichten (overlay), deren Korrektur bei Verzerrung/Verzeichnung des Substrates und Schärfentiefe belichtet werden. Der Stepper soll die in HHI-PC eingesetzten Wafer aus IndiumPhosphid (InP) + die aktuellen Wafergrößen (3 Zoll), die zu erwartenden Größen von 4 Zoll und bis zu 6 Zoll automatisiert transportieren, bei Erstbelichtungen an der Wafermarkierung (Flat), bei Belichtungen zu bereits strukturierten Wafern, an Justiermarken ausrichten + belichten können. Neben dem Stepper sollen auch notw. Testmasken + Testrezepte für eine spätere regelm. Prozeßkontrolle mitgeliefert werden. Außerdem soll eine intensive Schulung von mind. 2 Mitarbeitern angeb. werden. Es sollen nur refurbished Anlagen angeb. werden.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-10-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-09-06.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Nikon Precision Europe GmbH

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• • Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• • Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt